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量産投影露光装置 CMS (Cerma Micro Stepper)-CMS (Cerma Micro Stepper)
量産投影露光装置 CMS (Cerma Micro Stepper)-株式会社サーマプレシジョン

量産投影露光装置 CMS (Cerma Micro Stepper)
株式会社サーマプレシジョン

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この製品について

■特長

・L/S＝1.4/1.4um量産プロセスに対応 ・650×550mmのフルパネル量産に対応 ・ダイバイダイアライメン＆グローバルアライメント方式 ・チップファースト工程にも対応可能 ・ショット毎チルト機構搭載により歩留まり向上

  • シリーズ

    量産投影露光装置 CMS (Cerma Micro Stepper)

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量産投影露光装置 CMS (Cerma Micro Stepper) 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) レンズ 倍率 露光エリア［mm］ 解像力L/S［μm］ 波長 光源
量産投影露光装置 CMS (Cerma Micro Stepper)-品番-CMS (Cerma Micro Stepper)

CMS (Cerma Micro Stepper)

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Ck

×1

4″/□70

1.4/1.4

i-line

UV-LED

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半導体露光装置をフィルターから探すことができます

光源波長 nm

300 - 400 400 - 500 500 - 600

最小露光線幅 μm

0 - 10 10 - 20 20 - 40

ワークサイズ mm

0 - 100 100 - 200 200 - 300

露光領域 mm

0 - 50 50 - 100 100 - 150

ステージ

手動XYZθステージ 電動XYZθステージ 5軸ステージ

重量 kg

0 - 50 50 - 100 100 - 300 300 - 400 400 - 1,300

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この商品の取り扱い会社情報

株式会社サーマプレシジョン

会社概要

株式会社サーマプレシジョンは、商社機能もある露光装置のメーカーです。 2013年に、電子部品・半導体部品の製造・検査装置の商社のサーマトロニクス貿易株式会社と、露光装置メーカの目白プレシジョンが合併してできた会社です。...

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