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量産投影露光装置 CMS (Cerma Micro Stepper)-CMS (Cerma Micro Stepper)
量産投影露光装置 CMS (Cerma Micro Stepper)-株式会社サーマプレシジョン

量産投影露光装置 CMS (Cerma Micro Stepper)
株式会社サーマプレシジョン



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この製品について

■特長

・L/S=1.4/1.4um量産プロセスに対応 ・650×550mmのフルパネル量産に対応 ・ダイバイダイアライメン&グローバルアライメント方式 ・チップファースト工程にも対応可能 ・ショット毎チルト機構搭載により歩留まり向上

  • シリーズ

    量産投影露光装置 CMS (Cerma Micro Stepper)

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量産投影露光装置 CMS (Cerma Micro Stepper) 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) レンズ 倍率 露光エリア[mm] 解像力L/S[μm] 波長 光源
量産投影露光装置 CMS (Cerma Micro Stepper)-品番-CMS (Cerma Micro Stepper)

CMS (Cerma Micro Stepper)

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1.4/1.4

i-line

UV-LED

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

株式会社サーマプレシジョンは、商社機能もある露光装置のメーカーです。 2013年に、電子部品・半導体部品の製造・検査装置の商社のサーマトロニクス貿易株式会社と、露光装置メーカの目白プレシジョンが合併してできた会社です。...

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  • 本社所在地: 東京都
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