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ルーツポンプ スタンダードバージョン HiLobe® シリーズ (標準型ルーツポンプ)-HiLobe® 1004 - 2104
ルーツポンプ スタンダードバージョン HiLobe® シリーズ (標準型ルーツポンプ)-フジ・インバック株式会社

ルーツポンプ スタンダードバージョン HiLobe® シリーズ (標準型ルーツポンプ)
フジ・インバック株式会社

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この製品について

■概要

低・中真空用途のインテリジェントな高性能ルーツポンプです。インテリジェントでフレキシブル 革新的なHiLobe®シリーズのルーツポンプは、個別の速度制御により、お客様の仕様に完全に適合させることができます。 柔軟な設置位置により、システムのサイズと設置コストを削減することができます。HiLobe®のインテリジェントなインターフェース技術は、プロセスの最適な調整と状態監視を可能にします。これにより、お客様のアプリケーションにおいて、長寿命と最大限の運転信頼性を保証します。 空冷システムの柔軟な制御により、HiLobe®の個別温度制御が可能となり、ポンプ温度をプロセスに最適に適合させることができます。高性能HiLobe®ポンプは、520～13,600m3/hの揚水速度範囲で提供されます。 優れた駆動コンセプトにより、ブースターポンプとして非常に高い差圧に短時間で到達することができます。これにより、従来のルーツポンプと比較して、ポンプ停止時間を約20%短縮することができます。 ルーツポンプを運転するには、用途に応じてガス流量を調整した適切なバックポンプが必要です。効率的 革新的で摩耗の少ないIE4クラスのモーターと最適化されたローター形状により、低運転コストと高稼働率を実現します。 ハイローブラインの駆動部はハーメチックシールされており、最大積算リーク量は1 - 10-6 Pa m3/sです。これにより、コストと時間のかかる軸封のメンテナンスが不要になります。さらに、プロセスガスの汚染も防ぐことができます。モーターから吸引室までのシールコンセプトにより、ほとんどのアプリケーションでシールガスの使用は必要ありません。

■アプリケーション

・ロードロックチャンバー ・リーク検出 ・真空乾燥 ・冶金 ・凍結乾燥 ・電子ビーム溶接 ・ガラスおよび摩耗保護コーティング ・装飾コーティング ・真空炉 ・宇宙シミュレーションチャンバー

  • シリーズ

    ルーツポンプ スタンダードバージョン HiLobe® シリーズ (標準型ルーツポンプ)

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ルーツポンプ スタンダードバージョン HiLobe® シリーズ (標準型ルーツポンプ)-品番-HiLobe® 1004 - 2104

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フジ・インバック株式会社

会社概要

フジ・インバック株式会社は、1979年に創業した、真空関連製品のメーカーです。 主な事業内容は、真空関連製品の製造です。研究機関で使用するイオン注入装置、真空蒸着装置、真空加熱装置といった真空応用装置や、真空を加熱する...

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  • 本社所在地: 神奈川県

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