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ターボ分子ポンプ (磁気浮上方式) ATH-M/ATPシリーズ-ATH500M
ターボ分子ポンプ (磁気浮上方式) ATH-M/ATPシリーズ-フジ・インバック株式会社

ターボ分子ポンプ (磁気浮上方式) ATH-M/ATPシリーズ
フジ・インバック株式会社

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この製品について

■アプリケーション

・ガラスコーティング ・半導体プロセス ・フラットパネルディスプレイ製造 　 (LED・OLED) ・ロードロック用途 ・太陽光発電

■特長

ATH MシリーズとATP シリーズのターボポンプは、単なる磁気浮上式ではなく、アクティブな5軸磁気軸受がローターの位置を監視し、正しい位置からのずれをリアルタイムで制御しています。 高品質な軸受技術により、最高の長期安定性と信頼性、そして静粛性を実現しています。この軸受技術と高真空ポンプのプロセス装置により、ATH MおよびATP シリーズは、半導体製造、薄膜やガラスコーティング、その他多くの産業および研究開発用途における高性能ターボポンプのベンチマークとなる製品となっています。

  • シリーズ

    ターボ分子ポンプ (磁気浮上方式) ATH-M/ATPシリーズ

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フジ・インバック株式会社

会社概要

フジ・インバック株式会社は、1979年に創業した、真空関連製品のメーカーです。 主な事業内容は、真空関連製品の製造です。研究機関で使用するイオン注入装置、真空蒸着装置、真空加熱装置といった真空応用装置や、真空を加熱する...

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  • 本社所在地: 神奈川県

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