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シリーズ
ソルダリング技術 モジュール型 VADU取扱企業
ピンク・ジャパン株式会社カテゴリ
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商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | システム型式 | バキュームチャンバ数 | システム寸法 (W x D x H)[mm] | ポンプユニット寸法[mm] | 重量[kg] | 電力入力[kVA] | 500°Cまでのはんだ付けする温度 | SMEMA インターフェース | クリアランス高さ[mm] | プロセス領域 (W x D)[mm] | 取り扱い/転送システム | 真空(標準)[mbar] | 統合されたMESインタフェイス(例えばSECS/GEM) | 電力供給 | |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
VADU 200XL |
要見積もり |
バッチ型 |
2チャンバー |
1758 x 1911 x 2381 |
1027 x 762 x 1376 |
1500(ポンプユニット含まず) |
19 |
〇 |
〇 |
max. 100 |
410 x 280 mm |
〇 |
≤ 2 |
〇 |
3 x 400 V, 50/60 Hz |
||
VADU 300XL |
要見積もり |
インライン型 |
3チャンバー |
2436 x 1911 x 2381 |
1027 x 762 x 1996 |
2000(ポンプユニット含まず) |
27 |
〇 |
〇 |
max. 100 |
410 x 280 mm |
〇 |
≤ 2 |
〇 |
3 x 400 V, 50/60 Hz |
||
VADU 400XL |
要見積もり |
インライン型 |
4チャンバー |
3114 x 1911 x 2381 |
1027 x 1452 x 1376 |
2600(ポンプユニット含まず) |
35 |
〇 |
〇 |
max. 100 |
410 x 280 mm |
〇 |
≤ 2 |
〇 |
3 x 400 V, 50/60 Hz |
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100.0%
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