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分注性能が大幅に向上 薬液補充ポンプ CFD-CFD-1T-B
分注性能が大幅に向上 薬液補充ポンプ CFD-株式会社イワキ

分注性能が大幅に向上 薬液補充ポンプ CFD
株式会社イワキ

💻 電子・電気機器業界用 🧪 化学業界用

株式会社イワキの対応状況

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この製品について

■分注性能の向上

吐出量を1shot当り1mLとし、従来に比べ大幅に分注性能が向上しました。必要時に必要最小量を注入することで、ウェハー洗浄液の濃度管理を精度よく行えます。さらに、濃度のオーバーシュートを抑えることができ、洗浄液のコストダウンにもつながります。またサイホン防止機構を内蔵し、薬液の流出を防止します。

■耐腐食性構造

接液部はオールフッ素樹脂 (PTFE、PFA、PCTFE) で構成されており、半導体用途で使用される酸、アルカリ、過水などの薬液に対応できます。また、ポンプ外部は樹脂 (PTFE、PFA、PP、PVC) 及びPTFEコーティングされたネジを使用することにより、高い耐腐食性構造になっています。

■幅広い吐出量設定に対応

ポンプ下部のカバーを外して、ストローク長の調節が簡単に行なえます。 1shot当り最大2.7mLの吐出が可能です。 (出荷時は、1shot 当り1mLです。)

■リークセンサ標準装備

ベローズ破損時にも素早く対応できるリークセンサを標準装備しました。

  • シリーズ

    分注性能が大幅に向上 薬液補充ポンプ CFD
  • 利用シーン

    電子・電気機器業界用 / 化学業界用

企業レビュー 4.8

Metoree経由で見積もり

2024年11月18日にレビュー済み

顧客対応への満足度

対面でこちらの疑問点に丁寧に回答いただきました。製品に関する以外も教えていただき、大変満足しました。

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2024年5月20日にレビュー済み

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分注性能が大幅に向上 薬液補充ポンプ CFD 品番2件

フィルター
商品画像 品番 価格 (税抜) 供給エアー圧力 最大ストローク数 液温範囲
分注性能が大幅に向上 薬液補充ポンプ CFD-品番-CFD-1T-B

CFD-1T-B

要見積もり

1mL/shot

0.15~0.3MPa

2.5NL/min
※供給エアー圧力0.3MPa、ストローク数30spm、吐出圧力0.05MPaの場合

30spm

PTFE、PFA、PCTFE

20~60℃

分注性能が大幅に向上 薬液補充ポンプ CFD-品番-CFD-8T-B

CFD-8T-B

要見積もり

8mL/shot

0.15~0.3MPa

5.4NL/min
※供給エアー圧力0.3MPa、ストローク数30spm、吐出圧力0.05MPaの場合

30spm

PTFE、PFA

20~60℃

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この商品の取り扱い会社情報

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返答時間

7.9時間


企業レビュー

4.8

会社概要

株式会社イワキは、1956年に設立されたケミカルポンプをはじめとする各種流体制御製品の開発・生産・販売を行うメーカーです。 本社を東京都千代田区に置き、大阪や名古屋、北九州に支店を設けるほか、広島や新潟など各地に営業所を...

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  • 本社所在地: 東京都
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