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スロットルマスター真空ゲートバルブ
株式会社ジェイビック

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この製品について

■製品特徴

・バルブ本体は、アルミ製とステンレス製から選択可能 ・減圧側、正圧側両方に対応可能 ・2インチ~24インチまでのANSIサイズを用意 ・63mm~630mmまでのISOサイズを用意 ・手動制御、クローズドループ制御に対応 ・RoHS 2002/95/EC認証済み

■VRC社製スロットルマスター真空ゲートバルブはポジショナーを標準装備とし、下記2点の使用方法に対応致します。

・マスフローコントローラーとの併用による、上流側圧力制御として。 ・ゲート位置調整による、下流側圧力制御として。

  • シリーズ

    スロットルマスター真空ゲートバルブ

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スロットルマスター真空ゲートバルブ 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) ポートサイズ フランジ形式

STM-25

要見積もり

25mm

NW-25

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真空ゲートバルブをフィルターから探すことができます

使用用途

#半導体製造 #大型ディスプレイ製造 #排気制御 #圧力調整 #ワーク搬送

駆動方式

手動型 空圧型 電動型

構造形式

スロット型 ラウンド型

シール方式

メタルシール型 エラストマーシール型 ハイブリッドシール型

呼び口径 mm

100 - 125 125 - 150 150 - 350 350 - 400

ベーキング許容温度 ℃

0 - 80 80 - 120 120 - 150 150 - 200

バルブ寿命 回

0 - 100,000 100,000 - 200,000 200,000 - 500,000 500,000 - 1,000,000 1,000,000 - 3,000,000

使用温度 ℃

-50 - 0 0 - 50 50 - 80 80 - 100 100 - 150

開放コンダクタンス L/s

0 - 100 100 - 10,000 10,000 - 50,000

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

株式会社ジェイビックは、2010年6月に設立された、検査受託企業です。 主な事業は、ヘリウムリークディテクター、水素リークディテクター、ヘリウムガス回収システムの修理・メンテナンスサービス事業、自社開発のJA-11型エ...

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  • 本社所在地: 東京都
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