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油拡散ポンプ ULK-ULK-04A
油拡散ポンプ ULK-株式会社アルバック

油拡散ポンプ ULK
株式会社アルバック

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この製品について

ULVACのULK型油拡散ポンプは、小型で臨界背圧を大きく設計している高真空排気ポンプです。研究用途から製造ラインまで幅広く活用されています。

■特長

・機械的な摺動部がなく丈夫な高真空ポンプです。 ・2種類のオイルとヒータの選定により、ご希望の排気速度、到達圧力が得られます。 ・補助ポンプ側への作動液の流出防止機構を備えています。

■用途

・蒸着装置 ・高真空実験装置

  • シリーズ

    油拡散ポンプ ULK

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油拡散ポンプ ULK 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 排気速度 到達圧力 臨界背圧 作業開始時間 作動油 油量 水温 冷却水取合 (サイズ×系統数) 冷却水量 電圧仕様 所要電力 ヒーター種類 推奨補助ポンプ 外径寸法 (A) 外径寸法 (B) 外径寸法 (H) 吸気口 排気口 質量 オイルレベルゲージ サーモスタットオプション サーモスタット設定温度
油拡散ポンプ ULK-品番-ULK-04A

ULK-04A

要見積もり

550L/sec
500L/sec

550L/sec:<2.6×10-5 Pa
500L/sec:<2.6×10-6 Pa

550L/sec:40Pa
500L/sec:60Pa

550L/sec:9min
500L/sec:8.5min

550L/sec:ULVOIL D-11
500L/sec:ULVOIL D-31

0.15 L

19℃~25℃

Rc1/4"

1L/min

200V/1Φ

550L/sec:0.55kW
500L/sec:0.73kW

熱盤

VD151/ VD201/PVD-180/PVD-360

175mm

150mm

344mm

VG100

VG25

7.5Kg

無し

有り

250℃

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

株式会社アルバックは1952年の創業以来、真空技術で産業と科学の発展に貢献するという理念で製品開発を進めている企業です。 真空技術は、半導体・電子部品・スマートフォン・テレビ・自動車・医薬品など多くの身近な製品をつくる...

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  • 本社所在地: 神奈川県
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