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シリーズ
スパッタイオンポンプ PST取扱企業
株式会社アルバックカテゴリ
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商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 排気対象ガス | 再生排気速度 | 到達圧力 | 動作圧力 推奨値 | 内容積 | ポンプ素子数 | 接続フランジ型式 | 印加電圧 | 加熱ヒータ | 標準ベークアウト温度 | 質量 | 外形寸法W×D×H | 使用環境 (温度範囲) | 使用環境 (湿度範囲) | ポンプ固定ボルト穴寸法 | 推奨コントローラ |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
![]() |
PST-030CU |
要見積もり |
活性ガス |
0.03m3/s N2ガス測定時 |
10^-9Pa |
<8.0×10^-3Pa |
0.67X10^-3m3 |
CU型セル×1式 |
UFC070 |
DC+7.5kV |
設定なし |
250℃ |
9.5 kg |
103×183×187mm |
5~40℃ |
85%以下 (結露なきこと) |
4か所-M5 |
GST-07L-B |
真空ポンプをフィルターから探すことができます
使用用途
#コーティング表面処理 #半導体電子部品 #分析実験室 #乾燥濃縮蒸発脱水 #吸着搬送 #湿分蒸気対応 #食品 #産業用途 #化学薬品対応 #真空包装動作原理
油回転型 ドライ型 ターボ分子型 クライオ型 イオン型構造形式
直結型 ベルト駆動型圧力領域
低真空用 中真空用 高真空用冷却方式
空冷型 水冷型到達真空度 Pa
0 - 0.01 0.01 - 0.1 0.1 - 1 1 - 10 10 - 100 100 - 1,000 1,000 - 1,100 1,100 - 100,000排気速度 L/min
0 - 100 100 - 500 500 - 5,000 5,000 - 50,000 50,000 - 500,000 500,000 - 5,000,000モータ出力 kW
0 - 0.5 0.5 - 2 2 - 10 10 - 30 30 - 70 70 - 110 110 - 150質量 kg
0 - 10 10 - 50 50 - 200 200 - 1,000 1,000 - 4,000 4,000 - 6,000騒音値 dB(A)
40 - 45 45 - 50 50 - 55 55 - 60 60 - 65 65 - 70 70 - 75 75 - 80 80 - 85電源電圧 V
0 - 30 30 - 150 150 - 250 250 - 380 380 - 500