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シリーズ
スパッタイオンポンプ PST取扱企業
株式会社アルバックカテゴリ
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 排気対象ガス | 再生排気速度 | 到達圧力 | 動作圧力 推奨値 | 内容積 | ポンプ素子数 | 接続フランジ型式 | 印加電圧 | 加熱ヒータ | 標準ベークアウト温度 | 質量 | 外形寸法W×D×H | 使用環境 (温度範囲) | 使用環境 (湿度範囲) | ポンプ固定ボルト穴寸法 | 推奨コントローラ |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
PST-030CU |
要見積もり |
活性ガス |
0.03m3/s N2ガス測定時 |
10^-9Pa |
<8.0×10^-3Pa |
0.67X10^-3m3 |
CU型セル×1式 |
UFC070 |
DC+7.5kV |
設定なし |
250℃ |
9.5 kg |
103×183×187mm |
5~40℃ |
85%以下 (結露なきこと) |
4か所-M5 |
GST-07L-B |
