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スパッタイオンポンプ PST-PST-030CU
スパッタイオンポンプ PST-株式会社アルバック

スパッタイオンポンプ PST
株式会社アルバック

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この製品について

スパッタされた活性チタンによるゲッター作用を利用した、超高真空領域での排気特性を強化したポンプです。新型素子と磁場の最適化を図ることにより、極・超高真空領域での排気特性を向上させています。

■特長

・極・超高真空対応。ISO規格のテストドームをつけて10-9Pa台の到達圧力を実証。 ・希ガス排気強化型 (AU型) はアルゴンに対し2倍の排気性能を実現。 (当社比) ・超高真空領域において大きな排気速度を実現。 ・短時間で超高真空領域まで排気可能。 ・超高真空領域における優れた起動特性。 (放電が超高真空領域まで持続)

■用途

・加速器 ・電子顕微鏡 ・電子線描画装置 ・振動を嫌う分析装置 ・極・超高真空環境の利用など

  • シリーズ

    スパッタイオンポンプ PST

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スパッタイオンポンプ PST 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 排気対象ガス 再生排気速度 到達圧力 動作圧力 推奨値 内容積 ポンプ素子数 接続フランジ型式 印加電圧 加熱ヒータ 標準ベークアウト温度 質量 外形寸法W×D×H 使用環境 (温度範囲) 使用環境 (湿度範囲) ポンプ固定ボルト穴寸法 推奨コントローラ
スパッタイオンポンプ PST-品番-PST-030CU

PST-030CU

要見積もり

活性ガス

0.03m3/s N2ガス測定時

10^-9Pa

<8.0×10^-3Pa

0.67X10^-3m3

CU型セル×1式

UFC070

DC+7.5kV

設定なし

250℃

9.5 kg

103×183×187mm

5~40℃

85%以下 (結露なきこと)

4か所-M5
深さ10mm

GST-07L-B

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使用用途

#コーティング表面処理 #半導体電子部品 #分析実験室 #乾燥濃縮蒸発脱水 #吸着搬送 #湿分蒸気対応 #食品 #産業用途 #化学薬品対応 #真空包装

動作原理

油回転型 ドライ型 ターボ分子型 クライオ型 イオン型

構造形式

直結型 ベルト駆動型

圧力領域

低真空用 中真空用 高真空用

冷却方式

空冷型 水冷型

到達真空度 Pa

0 - 0.01 0.01 - 0.1 0.1 - 1 1 - 10 10 - 100 100 - 1,000 1,000 - 1,100 1,100 - 100,000

排気速度 L/min

0 - 100 100 - 500 500 - 5,000 5,000 - 50,000 50,000 - 500,000 500,000 - 5,000,000

モータ出力 kW

0 - 0.5 0.5 - 2 2 - 10 10 - 30 30 - 70 70 - 110 110 - 150

質量 kg

0 - 10 10 - 50 50 - 200 200 - 1,000 1,000 - 4,000 4,000 - 6,000

騒音値 dB(A)

40 - 45 45 - 50 50 - 55 55 - 60 60 - 65 65 - 70 70 - 75 75 - 80 80 - 85

電源電圧 V

0 - 30 30 - 150 150 - 250 250 - 380 380 - 500

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この商品の取り扱い会社情報

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49.7時間

会社概要

株式会社アルバックは1952年の創業以来、真空技術で産業と科学の発展に貢献するという理念で製品開発を進めている企業です。 真空技術は、半導体・電子部品・スマートフォン・テレビ・自動車・医薬品など多くの身近な製品をつくる...

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  • 本社所在地: 神奈川県
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