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大気圧プラズマ表面処理装置-大気圧プラズマ表面処理装置
大気圧プラズマ表面処理装置-エア・ウォーター・グリーンデザイン株式会社

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この製品について

■製品概要

エア・ウォーターグループのアプリケーション技術大気圧プラズマとは、従来は真空プロセスが必要であった「プラズマ」 (ガス中の原子や分子がエネルギーの高い電子やイオンに解離した状態) を大気圧下で安定して発生させる技術です。極めて活性なため低温での処理が可能であり、また、薬液などを使用しないため、環境にやさしく生産性に優れた表面改質方法です。 エア・ウォーターでは、この大気圧プラズマ技術を確立し、フィルムを高速・連続に処理する「ダイレクト型表面処理装置」と、ガラスや基板にプラズマを吹き付けて洗浄する「リモート型表面処理装置」の2方式の装置を開発しました。これまで蓄積した各種産業ガスアプリケーションとの組み合わせにより、製品の品質と生産性の向上を実現する新しいソリューションをご提案します。

  • シリーズ

    大気圧プラズマ表面処理装置

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2025年5月29日にレビュー

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大気圧プラズマ表面処理装置 品番1件

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大気圧プラズマ表面処理装置

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使用用途

#インク密着向上 #パッケージング処理 #フィルム処理 #医療機器加工 #研究開発 #樹脂表面改質 #接着強化処理 #電子部品製造 #薄膜形成前処理 #半導体製造

プラズマ励起方式

直流放電型 高周波放電型 マイクロ波放電型 表面波型 パルス電源型

反応場構成

リモート型 平行平板型 同軸円筒型 分離チャンバー型

基板処理方式

枚葉式 バッチ式 ロールツーロール インライン式 回転テーブル式

圧力領域

大気圧型 低圧型

マイクロ波出力 W

0 - 500 500 - 1,000 1,000 - 1,500 1,500 - 2,500

装置形式

卓上型装置 19"筐体

電源容量 kVA

0 - 1 1 - 2 2 - 3

処理面

1 2

電源 V

100 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 500

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  • 本社所在地: 東京都
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