プラズマ処理機 R220W 株式会社ニッシン

この製品について

プラズマリアクタの独自開発により強力で高均一な処理を実現しました。
ニッシンはマイクロ波電源を始めとしたマイクロ波関連機器に自社製品を使用している数少ないメーカーです。

プラズマリアクタ  (プラズマ発生部)  の特性にとって、電磁波の特性は最重要部の1つです。
ニッシンではプラズマ生成、電磁波の両側面から長年培った技術を複合させた最良のプラズマ装置をご提供いたします。

ニッシンのプラズマ表面処理装置は、用途に応じた3つのタイプをご用意しました。お客様のご要望に応じてカスタマイズも可能です。

R220Wは全自動対応型で、高性能、高生産性を実現した、ロール to ロールプラズマシステムです。


特徴
高密度・高均一プラズマの直下をシートが通過し、ロール to ロールプラズマ処理にて高速・高均一なプロセスを実現することができます。
・600mm幅SWPリアクタ：長手方向600mm幅のロール to ロールのプラズマ処理に適した長方形プラズマリアクタを採用
・両面同時処理も可能
・アッシング、表面処理など様々な各種アプリケーションに対応
・ロール to ロールプラズマシステムにおいてもマイクロ波プラズマの特徴を生かした高速、高性能処理をご提供

オプション例
・温調ローラ
・張力センサ
・巻径センサ
・外部通信機能
・プロセスロギング機能 など
材料、ライン要求に合わせて、様々なオプションが可能です。

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
プラズマ処理機 R220W

取扱企業
株式会社ニッシン

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プラズマ処理機 R220W 品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	対象物形状	装置サイズ (W)	装置サイズ (D)	装置サイズ (H)	重量 (kg)	電力	冷却水	圧縮空気	パージガス	プロセスガス	ユーティリティ / その他	設置可能最大サイズ	処理面
	R220W	要見積もり	シート / フィルム	1730mm	2530mm	2000mm	1800Kg	三相 AC200V 52kVA	30L / min 以上 (結露無きこと)	0.5~0.7MPa 20NL / min.以上	5~200SLM (プロセスによる)	O2,Ar,CF4,N2,H2,Heなど (プロセスによる)	排気ダクトを要す	630mm × 640mm	両面