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この製品について

■新型・次世代ディスプレイ製品の開発を推進

有機EL (OLED) ・液晶のフラットパネルディスプレイ (FPD) においては、主要サプライヤとしてのポジションを堅持し、新しいディスプレイに対応した高精度、高品質の高付加価値製品の開発に取り組んでいます。

■独自技術を搭載した高性能・高精度のスライスエッチャー。業界シェアNo.1 (当社調べ) G10.5まで対応

LCD/OLED/μ-LED (バックプレーン) の製造工程における弗化水素 (HF) 水を用いたエッチング装置です。

■特長

・多様な生産プロセスに合わせた優れたスライスエッチング処理が可能 ・独自技術による歩留まりの向上 ・優れたエッチング面内均一性 ・各種洗浄ツールの組合せにより、高洗浄性能なパーティクル除去が可能 ・各種成膜装置とのドッキング対応 (CVD,ELA) ・濃度管理システムによる省薬液を実現 ・各種オプション対応

■適応事例

LCD/OLED/μ-LEDのTFT工程

  • シリーズ

    スライスエッチング装置

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会社概要

芝浦メカトロニクス株式会社は、神奈川県横浜市に本社を置く、半導体、フラットパネルディスプレイ、電子部品などの用途を対象にした、製造装置の開発・製造及びサービスを行っている会社です。

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  • 本社所在地: 神奈川県

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