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この製品について

■新型・次世代ディスプレイ製品の開発を推進

有機EL (OLED) ・液晶のフラットパネルディスプレイ (FPD) においては、主要サプライヤとしてのポジションを堅持し、新しいディスプレイに対応した高精度、高品質の高付加価値製品の開発に取り組んでいます。

■独自技術を搭載した高性能・高精度の現像装置。CF工程の累積販売台数No.1 (当社調べ) G10.5まで対応

カラーフィルタ工程のレジスト処理工程の中で、ガラス基板上に塗布されたレジストにパターン露光した後、現像処理をする装置です。

■特長

・高い均一性 ・ロングライフ化による省薬液を実現 ・様々な現像液に対応 ・お客様のプロセスに合わせた最適なツール構成をご提案 (スプレー、パドル、ディップ)

  • シリーズ

    現像装置

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使用用途

#成膜 #洗浄 #検査 #貼合 #剥離 #接合 #エッチング #アライメント

塗布方式

ディスペンス塗布 スリット塗布

幅寸法 mm

0 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 5,000 5,000 - 10,000

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会社概要

芝浦メカトロニクス株式会社は、神奈川県横浜市に本社を置く、半導体、フラットパネルディスプレイ、電子部品などの用途を対象にした、製造装置の開発・製造及びサービスを行っている会社です。

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  • 本社所在地: 神奈川県

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