全てのカテゴリ

閲覧履歴

ウエハエッジ外観検査装置 WEIM-6800A-WEIM-6800A
ウエハエッジ外観検査装置 WEIM-6800A-アローズエンジニアリング株式会社

ウエハエッジ外観検査装置 WEIM-6800A
アローズエンジニアリング株式会社



無料
見積もり費用は無料です、お気軽にご利用ください

電話番号不要
不必要に電話がかかってくる心配はありません

この製品について

■概要

カセットtoカセット方式のウェハエッジ自動検査機です。1枚の検査時間10秒、タクト30秒の高スループットを実現。25枚収納カセットからウェハを1枚ずつロボットが取り出して自動調芯後に検査をしてカセットに収納します。操作が簡単です。 ・傷、異物、チップ、クラックなどの欠陥自動検査ができます。 ・搬送時間を含め1枚30秒の高速検査をします。 ・新規機能を追加して更に使い易くなった高精度検査機です。 ・コンパクトで省電力設計です。AC100V8A ・外形寸法w1200×d900×h1600mm、重量160kg ・カセットをセットして運転ボタンを押すだけでウェハを1枚ずつロボットが取り出し検査ステーションに運びます。 画像調芯後、ウェハ外周の端面と上下面3面を同時に撮影して傷、異物、クラック、チップの欠陥検査をしてカセットに戻します。 ・検査はウェハ裏面吸着式でカメラがノッチ/オリフラを識別して最適に制御します。

■特徴

・エッジ3面の同時撮影とウエハ全周の撮影と欠陥検査ができます。 ・トリプル光学系により1台のラインカメラで3面検査ができます。 ・インテグレイト照明がエッジ検査に最適な照明を実現しました。 ・オリフラ/ノッチを含めた外観検査ができます。 (ノッチ部はベベル面だけの検査です) ・計測分解能10μm、検出欠陥サイズ20μm、良否判定欠陥50μmと高性能です。

■機能

・自動調芯機構:画像でウエハ中心と検査中心を自動的に合わせます。 ・3面独立設定:検査条件のレシピと照明の設定ができます。 ・再検査機能:NG判定ウェハの目視再検査ができます。 ・表示変更機能:拡大と反転機能で生画像が見やすくなりました。 ・大きな汚れやマーキングを欠陥と分離できます。

■検査箇所

ウェハの端面A、上面B、下面Cを同時に撮像します。トリプル光学系でベベル面は両面から検査できるので境界部にまたがる欠陥の検査ができます。

■照明、エッジ検査

エッジ検査用LEDインテグレイト照明2個、チップ検出用ファイバ照明が標準で附属しています。

  • シリーズ

    ウエハエッジ外観検査装置 WEIM-6800A

この製品を共有する


30人以上が見ています

最新の閲覧: 5時間前


無料
見積もり費用は無料のため、お気軽にご利用ください

電話番号不要
不必要に電話がかかってくる心配はありません

半導体外観検査装置注目ランキング (対応の早い企業)

返答時間が24時間以内の企業の中での注目ランキング

電話番号不要

何社からも電話が来る心配はありません

一括見積もり

複数社に同じ内容の記入は不要です

返答率96%

96%以上の方が返答を受け取っています


ウエハエッジ外観検査装置 WEIM-6800A 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 外形寸法 重量
ウエハエッジ外観検査装置 WEIM-6800A-品番-WEIM-6800A

WEIM-6800A

要見積もり

w1,200×d900×h1,600mm

160kg

フィルターから探す

半導体外観検査装置をフィルターから探すことができます

対応ウェーハサイズ mm

50 - 150 150 - 200 200 - 300

マシンサイクルタイム pcs/sec

1 - 5 5 - 10 10 - 15

画像処理部構成 台

2 - 4 4 - 8

処理時間 個/分

0 - 100 100 - 500 500 - 1,000 1,000 - 5,000

この商品を見た方はこちらもチェックしています

半導体外観検査装置をもっと見る

この商品の取り扱い会社情報

会社概要

アローズエンジニアリング株式会社は、半導体装置周辺機器の設計・制作・修理・販売などを行っている会社です。 1986年に設立され、1986年には国際規格である品質マネジメントシステムISO9001を認証取得しています。 ...

もっと見る

  • 本社所在地: 千葉県
Copyright © 2025 Metoree