マスフローコントローラガス流量制御高性能デジタルマスフローコントローラ-MC-3102L

マスフローコントローラガス流量制御高性能デジタルマスフローコントローラ
株式会社リンテック

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この製品について

■製品説明±1%S.P.保証を実現した高性能デジタルマスフローコントローラ。

リンテック独自の周囲温度補償式センサにより低温でも高精度の流量測定を実現。センサへの熱による経年劣化を抑えオゾンなど分解性が高いガスでも流量制御が可能。

オプションとして液化ガス、微小流量F.S.、ワイドレンジ、面間や継手の指定などにも対応可能な高性能でオールマイティーなデジタルマスフローコントローラ。

■特徴・精度±1%S.P.
・使用温度5～50℃
・メタルシール
・クリーン (パーティクル保証) 
・周囲温度補償センサ
・RS-485通信

■オプション・微小流量F.S.
・液化ガス対応
・ワイドレンジ

使用例
■半導体製造前工程CVD (化学気相成長) ALDの成膜装置やエッチング装置では反応性の高いガスが使用される為、耐腐食性の高いメタルシールのガスマスフローコントローラーが必須です。また、プリカーサには常温常圧では液体のガスも多く、耐熱温度と再液化しにくいバルブ構造が重要となります。高精度マスフローコントローラのMC-3000Lでは液化ガス対応オプションや最高使用温度50℃ (オプション55℃) の選択が可能です。

■分析装置分析装置では微小流量の制御が求められる事がありますが、一般的なマスフローコントローラの最小F.S.は5SCCMと微小流量の制御は出来ません。高精度マスフローコントローラのMC-3000LではオプションでF.S.1SCCM以下での製作も可能です。また、高精度マスフローコントローラのMC-3000Lではデッドボリュームの小さいダイヤフラムバルブを標準搭載しいます。

■シリーズ概要MC-3000Lシリーズは±1.0%S.P.保証を実現した高性能のデジタルマスフローコントローラです。

■シリーズ特徴・±1.0%S.P.保証を実現
・デジタルインターフェイスはRS-485を標準装備
・リンテック独自の周囲温度補償方式流量センサを搭載
・マイクロプロセッサ内蔵により高機能化を実現
・デッドボリュームが小さなダイヤフラム構造のバルブ
・高速、高性能なピエゾアクチュエータを採用
・耐久性、シール性に優れたメタルシールを採用することでメンテナンス性が向上
・金属ケースと各種フィルタの採用により高周波ノイズや直流磁界のある環境でも安定

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
マスフローコントローラガス流量制御高性能デジタルマスフローコントローラ

取扱企業
株式会社リンテック

カテゴリ

コントローラ・制御装置

マスフローコントローラ

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商品画像	品番	価格 (税抜)	流量 (N2換算)	流量制御範囲	バルブ動作	精度	再現性	応答時間	アナログ流量設定信号	アナログ流量出力信号	必要差圧	耐圧	温度影響 (Zero)	温度影響 (Span)	使用保証温度	リークレート	接ガス部材質	シール材	所要電源	取付姿勢	アナログコネクタ	デジタルインターフェイス	バルブ方式	重量
	MC-3102L	要見積もり	5~5,000SCCM	2~100%F.S.	ノーマリオープン、ノーマリクローズ	・100%F.S.~25%F.S.：±1.0%S.P. ・25%F.S.~2%F.S.：±0.25%F.S.	±0.2%F.S.	1sec	0~5VDC	0~5VDC	50~300kPa	1MPa (G)	±0.02%F.S./℃	±0.02%F.S./℃	5~50℃ 0~80%RH	1×10-11Pa･m3/sec He	SUS316L,PCTFE	Au	+15VDC±3% 100mA,-15VDC±3% 50mA	自由	Dsub 9pin	モジュラジャック RJ45/RS-485	ピエゾアクチュエータ	1.0kg