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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | センサ方式 | バルブ方式 | 対象ガス | フルスケール流量 (N2換算) | 制御範囲 | 応答性 | 精度 | 再現性 | 動作差圧 | 入口最大圧 | 耐圧 | Heリークレート | 許容周囲温度 | 精度保証温度 | 許容保存温度 | 許容周囲湿度 | 接ガス部材質 | 電気接続 | 流量設定信号 | 流量出力信号 | 所要電源 | 継手 (本体口径) | 重量 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
5100 |
要見積もり |
熱式巻線センサ |
比例ソレノイドバルブ (非通電時 閉) |
N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等 |
1SCCM~20SLM |
2~100%F.S. |
1sec以内 (within±2%F.S.) |
±1%F.S. |
±0.2%F.S. |
F.S.≦5SLM 50~300kPa、F. S .＞5SLM 100~300kPa |
300kPa (G) |
1MPa (G) |
1×10^-11Pa・m3/sec以下 |
0~50℃ |
15~35℃ |
-10~60℃ |
10~90%RH (結露なきこと) |
SUS316L、Ni、PTFE、Au |
D-sub9ピン KFC standard (SEMI standard準拠) |
0~5VDC (入力インピーダンス1MΩ以上) |
0~5VDC (負荷抵抗250kΩ以上) |
＋15VDC (±5%) 100mA、-15VDC (±5%) 200mA |
1/4VCR相当 |
約1,000g |
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