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真空ポンプ チタンサブリメーションポンプ・タイバックポンプ-956-7015
真空ポンプ チタンサブリメーションポンプ・タイバックポンプ-キヤノンアネルバ株式会社

真空ポンプ チタンサブリメーションポンプ・タイバックポンプ
キヤノンアネルバ株式会社

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この製品について

低圧力での放電特性改良、高効率なベーキング、NEGポンプによって、超高真空領域での排気性能を改善した完全オイルフリーの真空ポンプです。 チタンサブリメーションポンプおよびタイバックポンプは、チタンを真空中で加熱昇華させ、周囲壁面にチタン蒸着膜 (ゲッター面) を作り、金属のゲッター作用を利用して、気体の吸着排気を行うゲッターポンプです。 特長

■オイルフリーの超高真空

イオンポンプと併用することにより、オイルフリーの超高真空が実現

■経済的

イオンポンプ、ターボモレキュラポンプ、クライオポンプと併用しますと、排気速度、および到達圧力を著しく向上することができますから、大型ポンプ単体で用いる場合に比べ極めて経済的

■コンパクト設計

小型軽量で取付場所を選びません

■用途

お手持ちの真空ポンプ (イオンポンプ、クライオポンプ、ターボモレキュラポンプ等) 排気系の排気時間の短縮、到達圧力の向上、排気量の増加を図りたい場合に効果的

  • シリーズ

    真空ポンプ チタンサブリメーションポンプ・タイバックポンプ

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真空ポンプ チタンサブリメーションポンプ・タイバックポンプ 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 動作圧力 有効チタン量 フィラメント数 チタン蒸発量 使用フランジ 質量
真空ポンプ チタンサブリメーションポンプ・タイバックポンプ-品番-956-7015

956-7015

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この商品の取り扱い会社情報

キヤノンアネルバ株式会社

会社概要

キヤノンアネルバ株式会社は1967年に設立し、長年培った真空、薄膜技術をベースに開発した各種装置、真空コンポーネントを製造、販売するメーカーです。 半導体デバイスやストレージデバイスの製造装置をはじめとする、超真空技術...

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