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真空ポンプ POWER シリーズ クライオポンプ-P-080C
真空ポンプ POWER シリーズ クライオポンプ-キヤノンアネルバ株式会社

真空ポンプ POWER シリーズ クライオポンプ
キヤノンアネルバ株式会社



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この製品について

マルチ運転での温度安定性の向上を実現したクライオポンプです。自己発熱機能を使用することにより安全な高速再生を実現します。 POWERシリーズクライオポンプでは、真空装置の生産性や稼働率向上に寄与する再生・起動時間の短縮や高排気容量、また実用的な排気性能やマルチ運転での温度安定性を向上させた高性能型のクライオポンプです。

■特長

・ヒータレスで安全な高速再生を実現 ・POWER起動と安定性 (実用性に優れた起動特性と温度安定性) ・低振動 振動加速度の平均値は、従来に比べ約10分の1以下 (当社比)

■用途

・半導体製造装置 (スパッタ装置、イオン注入装置) ・電子部品製造装置 ・真空蒸着装置 ・真空炉、スペースチャンバ ・加速器 ・各種高真空装置

  • シリーズ

    真空ポンプ POWER シリーズ クライオポンプ

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真空ポンプ POWER シリーズ クライオポンプ 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 口径 形状 排気速度 (L/S) 窒素 排気速度 (L/S) アルゴン 排気速度 (L/S) 水素 排気速度 (L/S) 水 最大排気流量 (Pa・m3/s) 最大ガス瞬間許容量 (Pa・m3) 起動時間 (分) 再生 (昇温) 時間 (分) 起動再生時間 (分) 排気容量 (Pa・m3) アルゴン 排気容量 (Pa・m3) 水素 到達温度 (K) 到達圧力 (Pa) 最大加熱温度 (℃) 環境温度範囲 (℃) 推奨メンテナンス時間 (h) 質量 (kg) 運転可能台数 (台) P-421CA 運転可能台数 (台) P-875CA
真空ポンプ POWER シリーズ クライオポンプ-品番-P-080C

P-080C

要見積もり

8インチ

縦型

1,500

1,300

1,000

4,000

1.5

18

45

30

75+α

80,000

1,300

15以下

10^-7台

70

10~35

16,000以内毎

22

1

3

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

キヤノンアネルバ株式会社は1967年に設立し、長年培った真空、薄膜技術をベースに開発した各種装置、真空コンポーネントを製造、販売するメーカーです。 半導体デバイスやストレージデバイスの製造装置をはじめとする、超真空技術...

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  • 本社所在地: 神奈川県
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