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真空ポンプ POWERECO シリーズ 省エネ型クライオポンプ-小型POWEREco シリーズクライオポンプ P-085C
真空ポンプ POWERECO シリーズ 省エネ型クライオポンプ-キヤノンアネルバ株式会社

真空ポンプ POWERECO シリーズ 省エネ型クライオポンプ
キヤノンアネルバ株式会社



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この製品について

パワーシリーズクライオポンプの性能に加え、冷凍機の高効率化により省エネ性能をさらにアップさせたクライオポンプです。 POWERECOシリーズクライオポンプは省エネルギーの観点から、消費電力や冷却水量を低減することを目的として開発された高性能省エネルギー型のクライオポンプです。

■重要

輸出・移転・処分に関する注意 クライオポンプ P-226C (口径22インチ) は、外国為替および外国貿易法の規定により、輸出の許可が必要な貨物に該当します。日本国外に輸出する際は、外国為替および外国貿易法に基づく判定が必要となりますので、弊社営業部門にお問合せください。又、国内移転・処分の際にも、移転・処分先にご留意願います。 特長

■省エネ・省資源に有効

消費電力、冷却水量:15 ~ 70 % 低減可能

■再生・起動時間の短縮

従来に比べて半分以下 (当社比)

■排気性能の向上

実質的なアルゴン排気容量を1.5 ~ 4 倍と大幅に向上 (当社比)

■用途

・半導体製造装置 (スパッタ装置、イオン注入装置) ・電子部品製造装置 ・真空蒸着装置 ・真空炉、スペースチャンバ ・加速器 ・各種高真空装置

  • シリーズ

    真空ポンプ POWERECO シリーズ 省エネ型クライオポンプ

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真空ポンプ POWERECO シリーズ 省エネ型クライオポンプ 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 口径 形状 排気速度 (L/S) 窒素 排気速度 (L/S) アルゴン 排気速度 (L/S) 水素 排気速度 (L/S) 水 最大排気流量 (Pa・m3/s) 最大ガス瞬間許容量 (Pa・m3) 起動時間 (分) 再生 (昇温) 時間 (分) 起動再生時間 (分) 排気容量 (Pa・m3) アルゴン 排気容量 (Pa・m3) 水素 到達温度 (K) 到達圧力 (Pa) 最大加熱温度 (℃) 環境温度範囲 (℃) 推奨メンテナンス時間 (h) 質量 (kg) 運転可能台数 (台) P-421CA 運転可能台数 (台) P-875CA
真空ポンプ POWERECO シリーズ 省エネ型クライオポンプ-品番-小型POWEREco シリーズクライオポンプ P-085C

小型POWEREco シリーズクライオポンプ P-085C

要見積もり

8インチ

縦型

1,500

1,300

1,000

4,000

1.2

18

60

40

100+α

80,000

1,300

15以下

10^-7台

70

10~35

16,000 以内毎

22

3

5

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

キヤノンアネルバ株式会社は1967年に設立し、長年培った真空、薄膜技術をベースに開発した各種装置、真空コンポーネントを製造、販売するメーカーです。 半導体デバイスやストレージデバイスの製造装置をはじめとする、超真空技術...

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  • 本社所在地: 神奈川県
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