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露光装置 マスクレス露光機
株式会社菱光社

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この製品について

■概要

マスクを製作せずにキャドデーターから直接描画できる露光装置です。

■メリット

・マスク製作のリードタイム　ゼロ。 ・マスク製作のコスト　ゼロ。 ・マスクパターンの修正変更が瞬時に可能。 ・3次元露光 (3D) も可能です。

  • シリーズ

    露光装置 マスクレス露光機

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マスクレス露光機

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光源波長 nm

300 - 400 400 - 500 500 - 600

最小露光線幅 μm

0 - 10 10 - 20 20 - 40

ワークサイズ mm

0 - 100 100 - 200 200 - 300

露光領域 mm

0 - 50 50 - 100 100 - 150

ステージ

手動XYZθステージ 電動XYZθステージ 5軸ステージ

重量 kg

0 - 50 50 - 100 100 - 300 300 - 400 400 - 1,300

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会社概要

株式会社菱光社は、1947年に設立された精密測定機器等を販売する専門商社です。

創業当初は、発電機、自転車等の重工関連の販売を行っていましたが、1950年ごろ、ニコンの投影機一型の代理店となったことから...

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  • 本社所在地: 東京都

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