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3D測定レーザー顕微鏡 LEXT OLS5100-OLS5100
3D測定レーザー顕微鏡 LEXT OLS5100-株式会社菱光社

3D測定レーザー顕微鏡 LEXT OLS5100
株式会社菱光社

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この製品について

■概要

405nmレーザーの搭載により、微小領域の高分解能な3次元形状観察・計測・粗さ測定が可能なモデルです。 主な特徴

■明暗視

光をサンプルへ均一に照射し、サンプルを透過または反射した光を捉える観察方法です。サンプルの透過率または反射率の違いにより観察像のコントラストが得られる、もっとも一般的な観察法です。

■微分干渉

通常では見えないサンプル表面の微少段差を、光の偏光性と干渉性を利用して見る観察法です。プリズムを用いて照明光を横方向にずらした2つの光線に分離してサンプルを照明します。サンプルから直接反射した2つの光線の差を取ると明暗のコントラストが発生し、微小段差を立体的に観察することができます。

■300mmウエハ対応

300mmウエハの全面観察を可能にするストロークの大きなステージを搭載した顕微鏡です。透過照明を組み合わせることにより17インチサイズのFPD検査にも対応できます。

■短波長レーザー

可視光より波長の短いバイオレットレーザーを用いて観察することにより、光学顕微鏡よりも高い分解能を得ることができます。

■粗さ測定

サンプル表面のワンラインを測定する「線粗さ測定」、面全体を測定する「面粗さ測定」が可能です。接触式表面粗さ測定機と同様の校正と表面性状粗さパラメータ、フィルタ搭載により、従来の接触式表面粗さ測定機と互換性のあるデータが得られます。さらに非接触のメリットを活かし接触式では難しい柔らかいサンプルや粘着性のあるサンプルの粗さ測定をすることができます。

  • シリーズ

    3D測定レーザー顕微鏡 LEXT OLS5100

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3D測定レーザー顕微鏡 LEXT OLS5100 品番1件

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3D測定レーザー顕微鏡 LEXT OLS5100-品番-OLS5100

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株式会社菱光社は、1950年に設立された精密測定機器等を販売する専門商社です。 創業当初は、発電機、自転車等の重工関連の販売を行っていましたが、1950年ごろ、ニコンの投影機一型の代理店となったことから、光学、精密測定...

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