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PLPコーター向け TZシリーズ ガントリー移動型塗布装置-ガントリー移動型塗布装置
PLPコーター向け TZシリーズ ガントリー移動型塗布装置-タツモ株式会社

PLPコーター向け TZシリーズ ガントリー移動型塗布装置
タツモ株式会社

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この製品について

■製品特徴

・高性能定量吐出ポンプ ・高精度ノズル ・ロボット搬送に対応 ・ロック機構付安全カバー搭載 ・ノズル先端管理ユニット搭載 ・塗布液＆洗浄液自動供給システム搭載 ・基板の反りに対応 ・基板表面の凸凹に対応 ・ジョブチェンジ (液替え) 仕様による時間短縮 ・ EFEM対応 ・ホットプレート付減圧乾燥機＆プリベークもセットで販売 ・新規分野に参入

  • シリーズ

    PLPコーター向け TZシリーズ ガントリー移動型塗布装置

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PLPコーター向け TZシリーズ ガントリー移動型塗布装置 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 基板サイズ 基板厚み： ポンプ吐出容量 塗布液粘度
PLPコーター向け TZシリーズ ガントリー移動型塗布装置-品番-ガントリー移動型塗布装置

ガントリー移動型塗布装置

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タツモ株式会社

会社概要

タツモ株式会社は、半導体製造装置や液晶製造装置などを取り扱っている企業です。 電子機能部品の製造などを目的として1972年に会社を設立しています。設立以降、1980年に全自動レジスト塗布装置、1987年にウェーハマーキ...

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  • 本社所在地: 岡山県

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