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シリーズ
2周波独立印加方式 ドライエッチング装置取扱企業
ジャパンクリエイト株式会社カテゴリ
利用シーン
化学業界用 / 電子・電気機器業界用Metoree経由で見積もり
2024年12月9日にレビュー済み
顧客対応への満足度
回答が速やかに有りました。しかし、残念ながら同社では対応が困難な案件でした。
初回対応までの時間への満足度
4.22時間
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エッチング装置の製品36点中、注目ランキング上位6点
電話番号不要
何社からも電話が来る心配はありません
一括見積もり
複数社に同じ内容の記入は不要です
返答率96%
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | サイズ | プラズマソース | 真空排気 | 圧力制御 | プロセスガス | 制御操作 | データロギング | 基板搬送 | オプション |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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ドライエッチング装置 |
要見積もり |
最大φ12インチ |
CCP型 |
低真空プロセス：MBP＋DP |
APC制御 |
F系、Cl2、Ar、O2、他 |
制御：PLC |
外部メモリまたはPC |
大気または真空搬送ロボット |
2周波独立印加方式、超低温冷却ステージ、静電チャックステージ、メカチャックステージ、発光分析システム、ガス検知器、シリンダーキャビネット など |
