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2周波独立印加方式 ドライエッチング装置-ドライエッチング装置
2周波独立印加方式 ドライエッチング装置-ジャパンクリエイト株式会社

2周波独立印加方式 ドライエッチング装置
ジャパンクリエイト株式会社

🧪 化学業界用 💻 電子・電気機器業界用

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■概要

最大φ12インチ基板を全自動で連続処理することが可能な量産装置です。 ガス種およびプラズマモードの切り替えによりエッチング、アッシング及びイオンクリーニングを可能とする汎用性に優れた装置です。

■特徴

・RIEモードとDPモードの切り替えが可能 ・特殊表面処理によるメタルコンタミ低減 ・省フットプリント ・2周波独立印加方式 ・超低温冷却ステージ

■用途

・半導体 ・MEMS ・電子部品

  • シリーズ

    2周波独立印加方式 ドライエッチング装置
  • 利用シーン

    化学業界用 / 電子・電気機器業界用

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2周波独立印加方式 ドライエッチング装置 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) サイズ プラズマソース 真空排気 圧力制御 プロセスガス 制御操作 データロギング 基板搬送 オプション
2周波独立印加方式 ドライエッチング装置-品番-ドライエッチング装置

ドライエッチング装置

要見積もり

最大φ12インチ

CCP型

低真空プロセス:MBP+DP
高真空プロセス:TMP+DP

APC制御

F系、Cl2、Ar、O2、他

制御:PLC
操作:タッチパネルまたはPC

外部メモリまたはPC

大気または真空搬送ロボット

2周波独立印加方式、超低温冷却ステージ、静電チャックステージ、メカチャックステージ、発光分析システム、ガス検知器、シリンダーキャビネット など

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

ジャパンクリエイト株式会社は、ウエハ自動洗浄装置、エッチング装置、スピン洗浄装置、プラズマCVD装置、スパッタリング装置、蒸着装置の開発及び製造を主な事業内容とする企業です。
1963年に洗浄装置の開発及び製造を...

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  • 本社所在地: 埼玉県
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