全てのカテゴリ

閲覧履歴

酸化膜/窒化膜プラズマCVD装置-酸化膜/窒化膜プラズマCVD装置
酸化膜/窒化膜プラズマCVD装置-ジャパンクリエイト株式会社

酸化膜/窒化膜プラズマCVD装置
ジャパンクリエイト株式会社

化学業界用 電子・電気機器業界用

ジャパンクリエイト株式会社の対応状況

返答率

100.0%

平均返答時間

366.4時間


無料
見積もり費用は無料です、お気軽にご利用ください

電話番号不要
不必要に電話がかかってくる心配はありません

この製品について

■特徴

・2周波独立印可方式により、低応力、高硬度、高絶縁性を実現 ・優れた膜厚分布および再現性を実現 ・特殊表面処理によるメタルコンタミ低減 ・ラジカルプラズマクリーニングシステムによる大幅なパーティクル低減および生産性向上 ・広範な膜特性の制御可能 ・豊富な蓄積データ ・トレイ搬送にも対応可能

■用途

・半導体 ・MEMS ・有機EL ・太陽電池 ・電子部品 ・光学部品

  • シリーズ

    酸化膜/窒化膜プラズマCVD装置
  • 利用シーン

    化学業界用 / 電子・電気機器業界用

この製品を共有する


300人以上が見ています


返答率: 100.0%


無料
見積もり費用は無料のため、お気軽にご利用ください

電話番号不要
不必要に電話がかかってくる心配はありません

酸化膜/窒化膜プラズマCVD装置 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 基板サイズ 成膜プロセス プラズマソース 基板加熱温度 真空排気 圧力制御 制御操作 データロギング 基板搬送 オプション
酸化膜/窒化膜プラズマCVD装置-品番-酸化膜/窒化膜プラズマCVD装置

酸化膜/窒化膜プラズマCVD装置

要見積もり 最大φ12インチ SiH4系:SiO2、SiNx、SiON、a-Si
TEOS/TMOS系:SiO2
CCP型 最高300℃ (基板表面) 低真空プロセス:MBP+DP
高真空プロセス:TMP+DP
APC制御 制御:PLC
操作:タッチパネルまたはPC
外部メモリまたはPC 真空搬送ロボット

300℃以上の高温プロセス、発光分析システム、排ガス処理装置、ガス検知器、シリンダーキャビネット など

この商品を見た方はこちらもチェックしています

CVD装置をもっと見る

ジャパンクリエイトの取り扱い製品

ジャパンクリエイトの製品をもっと見る

この商品の取り扱い会社情報

返答率

100.0%


平均返答時間

366.4時間

会社概要

ジャパンクリエイト株式会社は、ウエハ自動洗浄装置、エッチング装置、スピン洗浄装置、プラズマCVD装置、スパッタリング装置、蒸着装置の開発及び製造を主な事業内容とする企業です。
1963年に洗浄装置の開発及び製造を...

もっと見る

  • 本社所在地: 埼玉県
Copyright © 2024 Metoree