自動ステージ ALIO Industries ヘキサポッドステージ-ヘキサポッドステージ

自動ステージ ALIO Industries ヘキサポッドステージ
オーテックス株式会社

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この製品について

■ALIO社が±30°の傾き可能なハイブリッドヘキサポッドをリリース。360°回転も可能。Patented 高剛性長ストロークヘキサポッドステージALIO Industries社のパテントテクノロジー。パラレルキネマティックの自由度とシリアルキネマティックの精度・剛性を融合した新しいタイプのヘキサポッド "Hybrid Hexapod"。その大きな特徴は長ストロークのヘキサポッドながら、スタンダードでも、±80nmの繰り返し精度を達成している点にあります。

従来のシステムに対して、コンパクト・高剛性・長ストローク・高精度という大きなアドバンテージを持ち、精密加工・精密アライメント等のアプリケーションで全く新しいシステムデザインを可能にしております。

特徴
■長ストロークのパラレルキネマティック技術的にはメーターストロークのXYが可能 (スタンダードでも400mm) 。Z：<205mm, Θx, θy：<40°, θz：360°のストロークを誇るTrue nanoステージ。組み合わせで小型タイプから大型タイプまでラインナップ。

■ユーザーフレンドリーなコントローラーメソッドキネマティックな演算をコントローラーに埋め込んでいる為、ユーザーは座標制御でコントロールが可能。起動中に回転軸 (TCP) をソフトウエアから任意の座標に設定可能、これにより動作を止めることなく、自由度の高い動作が可能。

■高性能モーター/光学エンコーダー採用欧米製の一流メーカー品の採用で精度だけでなく、高い信頼性を実現。MTBF>100,000h。

■Ultra/Nanoオプションで標準アップグレード多数のアップグレードオプションを用意。レーザーマッピングや構造部材の精度向上により精度向上。

■様々なステージとダイレクトアッセンブリー可能。ALIO Industries社の提供する400種を超えるステージとアダプタープレートを介さずにダイレクトに取り付けることが可能です。それにより、6D Point Precision準拠の多軸ステージシステムとなります。