UV露光装置 UVL-3
壺坂電機株式会社

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この製品について

■特長・フォトリソグラフィ工程における簡易露光焼付装置
・卓上型・一体型のため省スペース
・カラー液晶と十字キーを装備
・照射時間を正確に制御

■操作手順①電源を入れてランプを点灯
②ランプ安定後に、放射照度を調整・登録
③露光時間を設定 (放射照度×時間で露光量を表示) 
④露光　時間露光の場合は自動でシャッター開閉　手動露光の場合は、露光量を見ながら手動でシャッター開閉

拡張機能
■【オプション】・放射照度の変更 (20以下に変更する) 
・露光マスク対応 (マスクホルダー及び試料トレーの追加) 

■【カスタム】・試料寸法の変更 (照射範囲も変更されるためカスタム対応) 

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
UV露光装置 UVL-3

取扱企業
壺坂電機株式会社

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UV露光装置 UVL-3 品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	光源	放射照度 (mW/cm2)	照度面 (WxH) (mm)	照度ムラ (± %)	表示・操作	露光時間	試料台	試料サイズ (mm x mm)	通信I/F	電源電圧	消費電力 (VA)	動作環境	寸法 (WxHxD) (mm)	重量 (kg)
	UVL-3	要見積もり	超高圧水銀ランプ 250W	常用:20 - 22 最大:24	照射範囲:φ155 有効:φ113 mm	有効面内にて5	本体操作外部通信制御	0.1 - 99.9 (最大99時間)	固定式・平面微調機構付き	100 x 100	コネクター:USB 2.0 Type-B 通信:仮想COMポートによるUART	AC100V 50/60Hz	450	温度:5 - 35[℃] 湿度:80[％]以下但し、結露なきこと	422.5mm (W) ×781mm (H) ×357mm (D) 突起物を除く	30