膜厚計光干渉タイプ EL2
ミワオプト株式会社

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この製品について

■概要EL2は光学的な手法により、DLC (ダイヤモンド状カーボン) 膜厚を、非接触で、高精度に測定できる装置です。サンプルをステージに置くだけで、簡単な操作でDLC膜厚を数秒で測定できます。

■特徴・DLC対応膜厚計。
・平面及び曲面での測定が可能。
・カスタマイズも可能。
・近畿経済産業局のHPでも紹介されています。

■主な仕様・サンプルの形状:平面だけでなく、円筒や球面上の膜厚も測定できます。
・サンプルの大きさ:1mm角 (平面) 、直径1mm (円筒、球) 程度以上。
・基板の材料:金属 (鉄、アルミ、SUSなど) 、シリコン、ガラス、プラスチック、ゴムなど。
・測定可能膜厚:0.5~30ミクロン (0.2ミクロンまで測定可能なオプションもあります) 。
・測定精度:±5%
 ・Siキャリアのような大型のサンプルにも適用できます (オプション) 。
・円筒の内面にコートしたDLC膜にも適用できます。
・屈折率も測定できます (オプション) 。