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膜厚計 光干渉タイプ EL2-EL2
膜厚計 光干渉タイプ EL2-ミワオプト株式会社

膜厚計 光干渉タイプ EL2
ミワオプト株式会社

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この製品について

■概要

EL2は光学的な手法により、DLC (ダイヤモンド状カーボン) 膜厚を、非接触で、高精度に測定できる装置です。サンプルをステージに置くだけで、簡単な操作でDLC膜厚を数秒で測定できます。

■特徴

・DLC対応膜厚計。 ・平面及び曲面での測定が可能。 ・カスタマイズも可能。 ・近畿経済産業局のHPでも紹介されています。

■主な仕様

・サンプルの形状:平面だけでなく、円筒や球面上の膜厚も測定できます。 ・サンプルの大きさ:1mm角 (平面) 、直径1mm (円筒、球) 程度以上。 ・基板の材料:金属 (鉄、アルミ、SUSなど) 、シリコン、ガラス、プラスチック、ゴムなど。 ・測定可能膜厚:0.5~30ミクロン (0.2ミクロンまで測定可能なオプションもあります) 。 ・測定精度:±5% ・Siキャリアのような大型のサンプルにも適用できます (オプション) 。 ・円筒の内面にコートしたDLC膜にも適用できます。 ・屈折率も測定できます (オプション) 。

  • シリーズ

    膜厚計 光干渉タイプ EL2

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ミワオプト株式会社

会社概要

ミワオプト株式会社は1993年の設立であり、光学測定機器の開発および輸入販売を行うメーカーです。 主に膜厚計やウエハの各種測定装置などの光学測定機器を取り扱い、偏光解析によるものや、干渉を利用したものなどバリエーション...

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  • 本社所在地: 東京都

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