プラズマ製品 D-AiPlasma 大気圧プラズマ装置
株式会社電子技研

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この製品について

■概要大気圧の圧力下で反応管 (石英ガラス製) の中に、アルゴンガス (Ar) と酸素ガス (O₂) を流し、13.56MHzの高周波電力でプラズマ放電を発生させることにより、活性化されたガスを被処理物の照射面に吹き付けることにより、被処理物表面をプラズマ処理するものです。

■特徴・石英ガラス管内でプラズマを発生させるため、パーティクルなどの不純物が被処理物に降りそそがれることなく、クリーンなプラズマ処理が可能。
・プラズマ発生部に消耗部品が少なく、定期的なメンテナンス実施により、10,000時間以上もの長寿命に。
・大気圧下でプラズマ処理が可能、減圧機器不要で設備投資の初期コストが低減。
・プラズマ発生部とコントローラ部の二つに分離。プラズマ発生部のみを既存設備や新規設備に組み込むことで、容易にインライン設備を構築することが可能。
・狙いを定めたエリアをピンポイントで高速プラズマ処理が可能。
・標準で既存設備との入出力制御機能を保有。既存設備からの信号でプラズマ照射のON/OFFなどの制御可能。

■応用事例・レジストアッシング
・半導体パッケージ工程におけるプラズマクリーニング
・バンプ前処理/リードフレーム洗浄
・金属・樹脂他の材料への表面改質 (親水化) 
・有機物除去/プラズマクリーニング
・滅菌処理