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シリーズ
塗布貼り合わせ装置 KAR12取扱企業
プレマテック株式会社カテゴリ
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 外形寸法 | 対応ワークサイズ | ワーク投入方法 | 塗布方式 | UV照射 | 貼り合せ方式 | 位置決め方式 | 装置内搬送方式 | 品種切り替え | 樹脂供給方法 | タクトタイム | その他付属機能 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
KAR12 |
要見積もり |
4,050mm×4,300mm×2,350mm 付帯設備は除く |
MAX 12in |
作業者によるローダー部への手動投入 |
ディスペンス塗布 送液はメカニカルポンプ |
LED面光源 |
上ステージ反転 大気貼り合せ |
投入時は外形基準 貼り合せ時はカメラアライメント |
スカラーロボット |
治具交換による |
加圧タンク (20L×2個) 撹拌脱泡、残量検知あり |
70s (プロセス条件による) |
品種識別センサー、ワーク厚み＆傾き検知センサー、加熱ステージ、ストッカー3pos |
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FPD製造装置をフィルターから探すことができます
使用用途
#成膜 #洗浄 #検査 #貼合 #剥離 #接合 #エッチング #アライメント成膜方式
CVD装置 ALD装置微細加工方式
フォトリソグラフィ装置 レーザー加工装置検査方式
光学検査装置 顕微鏡検査装置塗布方式
ディスペンス塗布 スリット塗布幅寸法 mm
0 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 5,000 5,000 - 10,000
