IC・メモリー・液晶・太陽電池等に機能マテリアル半導体用ガス
住友精化株式会社

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この製品について

■IC・メモリー・液晶・太陽電池等の半導体製造に欠かせないガス・当社は1970年代にはじめて半導体グレードの高純度NH3を開発して以来、総合化学メーカーとして培ったガスの合成・精製技術を応用して多種多様な超高純度ガスを製造しております。これらのガスは、成膜 (CVD、ALD) 、エッチング、ドーピング、エピタキシャル成長など、様々な半導体製造プロセスに用いられます。
・スマートフォン・ディスプレイ・太陽電池といった生活に身近な電子機器には、IC・メモリ・パワー半導体など数多くの半導体製品が搭載されております。
・私たちは高純度・高品質のガスを安定供給することで人々の豊かな生活に貢献しております。

型番
この商品には10種類の型番があります

シリーズ
IC・メモリー・液晶・太陽電池等に機能マテリアル半導体用ガス

取扱企業
住友精化株式会社

カテゴリ

半導体製造

半導体材料

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IC・メモリー・液晶・太陽電池等に機能マテリアル半導体用ガス品番10件

フィルター

品番	価格 (税抜)	グレード OPT RESEARCH SEG RESEARCH SEG SEG EG SEG EG	純度 >99.99997% >99.99995% >99.99999% >99.995% >99.999% >99.995% >99.8% >99.999% >99.999% >99.995% >99.9% >99.99% >99.9% >99.99%	容器・充填量 10L - 5kg (7.4m3) 47L - 25kg (37.1m3) 930L - 500kg (741.9m3) 1,860L - 1,000kg (1,483.8m3) 10L - 7.5kg ( 4.3m3 ) 47L - 30kg ( 17.2m3 ) 440L - 300kg ( 172.2m3 ) 360L×2本 - 500kg ( 287.1m3 ) 10L - 9.80MPa ( 1.0m3 ) 47L - 9.80MPa ( 4.7m3 ) 47L×28本 - 9.80MPa ( 130.3m3 ) 10L - 3.43MPa ( 0.4m3 ) 47L - 3.43MPa ( 1.7m3 ) 47L×10本 - 3.43MPa ( 16.6m3 ) 47L - 25kg ( 17.2m3 ) 10L - 6kg ( 4.1m3 ) /47L - 25kg ( 17.2m3 ) 10.1L - 9kg ( 2.3m3 ) 41L - 37kg ( 9.3m3 ) 10L - 9.80MPa ( 1.0m3 ) 47L - 9.80MPa ( 4.7m3 ) 47L - 20kg ( 12.0m3 ) 47L - 5kg ( 4.5m3 )	容器弁 S・W22・14・OL S (B) ・W22・14・OR S・W22・14・OR S・W26・14・OR B・W22・14・OL
NH3 アンモニア	要見積もり	OPT RESEARCH SEG	>99.99997% >99.99995% >99.99999%	10L - 5kg (7.4m3) 47L - 25kg (37.1m3) 930L - 500kg (741.9m3) 1,860L - 1,000kg (1,483.8m3)	S・W22・14・OL
N2O 亜酸化窒素	要見積もり	RESEARCH SEG	>99.995% >99.999%	10L - 7.5kg ( 4.3m3 ) 47L - 30kg ( 17.2m3 ) 440L - 300kg ( 172.2m3 ) 360L×2本 - 500kg ( 287.1m3 )	S (B) ・W22・14・OR
CO 一酸化炭素	要見積もり	SEG	>99.995%	10L - 9.80MPa ( 1.0m3 ) 47L - 9.80MPa ( 4.7m3 ) 47L×28本 - 9.80MPa ( 130.3m3 )	S・W22・14・OL
NO 一酸化窒素	要見積もり	EG	>99.8%	10L - 3.43MPa ( 0.4m3 ) 47L - 3.43MPa ( 1.7m3 ) 47L×10本 - 3.43MPa ( 16.6m3 )	S・W22・14・OR
B2H6 ジボラン	要見積もり	EG	>99.999%	-	-
HCl 塩化水素	要見積もり	SEG EG	>99.999% >99.995%	47L - 25kg ( 17.2m3 ) 10L - 6kg ( 4.1m3 ) /47L - 25kg ( 17.2m3 )	S・W26・14・OR
SiH2Cl2 ジクロロシラン	要見積もり	EG	>99.9%	10.1L - 9kg ( 2.3m3 ) 41L - 37kg ( 9.3m3 )	S・W22・14・OL
CH4 メタン	要見積もり	SEG EG	>99.99% >99.9%	10L - 9.80MPa ( 1.0m3 ) 47L - 9.80MPa ( 4.7m3 )	B・W22・14・OL
C3H6 プロピレン	要見積もり	SEG	>99.99%	47L - 20kg ( 12.0m3 )	S・W22・14・OL
C2H4 エチレン	要見積もり	EG	>99.999%	47L - 5kg ( 4.5m3 )	S・W22・14・OL