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レチクル対応 洗浄装置 RSP200/150 フルオート洗浄システム SR-200/150 (REN) -SR-200/150
レチクル対応 洗浄装置 RSP200/150 フルオート洗浄システム SR-200/150 (REN) -ヒューグルエレクトロニクス株式会社

レチクル対応 洗浄装置 RSP200/150 フルオート洗浄システム SR-200/150 (REN)
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この製品について

レチクル専用容器であるRSP200,及びRSP150のフルオート洗浄システムです。高い洗浄性能を搭載した本装置はナノレベルのパーティクル除去を実現しております。精密洗浄、省スペースをメインコンセプトとしており、効率的な生産環境の構築をサポート致します。

■製品概要

・省フットプリント設計 ・独自の洗浄技術による超精密洗浄 ・高効率乾燥方式による完全乾燥実現 ・全自動POD開閉によるクロスコンタミネーション防止 ・各メーカーのRSP-200/150に対応 ・ロボットハンドセルフクリーニングシステム内蔵

  • シリーズ

    レチクル対応 洗浄装置 RSP200/150 フルオート洗浄システム SR-200/150 (REN)

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レチクル対応 洗浄装置 RSP200/150 フルオート洗浄システム SR-200/150 (REN) 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 装置本体
レチクル対応 洗浄装置 RSP200/150 フルオート洗浄システム SR-200/150 (REN) -品番-SR-200/150

SR-200/150

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会社概要

ヒューグルエレクトロニクス株式会社は1971年に設立した、半導体関連製品のメーカーです。 容器洗浄装置、非接触に数ミクロンの異物を除去できる超音波ドライクリーナー、非接触で静電気の除電を行えるイオナイザーなどの半導体や...

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  • 本社所在地: 東京都

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