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8インチ以下 洗浄装置 SMIF POD/レチクルPOD マニュアル洗浄システム IA-8-IA-8
8インチ以下 洗浄装置 SMIF POD/レチクルPOD マニュアル洗浄システム IA-8-ヒューグルエレクトロニクス株式会社

8インチ以下 洗浄装置 SMIF POD/レチクルPOD マニュアル洗浄システム IA-8
ヒューグルエレクトロニクス株式会社

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この製品について

8インチ用SMIFPODの精密洗浄・乾燥を目的として開発された前面操作方式のマニュアルセット方式です。IA-8は半導体デバイスの容器洗浄装置メーカーならではの高度な知識と最新の技術が装備された研究用、パイロットライン等に最適な洗浄・乾燥装置です。IA-8はカセットの洗浄・乾燥等も可能です。 (その他容器についてもご相談ください。)

■製品概要

・省フットプリント設計 ・純水ジェット洗浄・エアーナイフ温風乾燥 ・死水防止対策 ・タッチパネルによる簡単操作 ・シーケンサ方式採用のコントローラ ・容易なメンテナンス ・ニーズに合わせた種々のオプション設計が可能

  • シリーズ

    8インチ以下 洗浄装置 SMIF POD/レチクルPOD マニュアル洗浄システム IA-8

企業レビュー

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2024年9月2日にレビュー

丁寧でスピーディーな対応をしていただき、とても助かりました。

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8インチ以下 洗浄装置 SMIF POD/レチクルPOD マニュアル洗浄システム IA-8 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 装置本体 付帯設備
8インチ以下 洗浄装置 SMIF POD/レチクルPOD マニュアル洗浄システム IA-8-品番-IA-8

IA-8

要見積もり

1,300 (W) ×900 (D) ×1,500 (H) mm (突起物含まず)

600 (W) ×1,000 (D) ×1,400 (H) mm (突起物含まず)

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使用用途

#ウエハ洗浄 #酸化膜除去 #有機物除去 #金属汚染除去 #パーティクル除去 #ドライプロセス #ウエットプロセス #クリーン化管理 #高純度薬液

洗浄方式

ウェット ドライ メガソニック スプレー

処理形態

バッチ型 シングルウエハ型 連続搬送型

特殊機能

ケミカル循環型 ドライインアウト型 プラズマ支援型

対応サイズ インチ

0 - 4 4 - 8 8 - 12

装置寸法 mm

0 - 500 500 - 1,000 1,000 - 1,500 1,500 - 2,000 2,000 - 2,500 2,500 - 3,500

本体重量 kg

0 - 50 100 - 500

電源 V

0 - 100 100 - 200 200 - 250

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この商品の取り扱い会社情報

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返答時間

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企業レビュー

5.0

会社概要

ヒューグルエレクトロニクス株式会社は1971年に設立した、半導体関連製品のメーカーです。 容器洗浄装置、非接触に数ミクロンの異物を除去できる超音波ドライクリーナー、非接触で静電気の除電を行えるイオナイザーなどの半導体や...

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  • 本社所在地: 東京都
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