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8インチ以下 洗浄装置 カセット・ボックス フルオート洗浄システム SC-8-SC-8
8インチ以下 洗浄装置 カセット・ボックス フルオート洗浄システム SC-8-ヒューグルエレクトロニクス株式会社

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この製品について

本装置はCRD-4500の後継機として開発され、最大8"ウェハキャリア及びBOXまで対応可能な自動洗浄システムです。洗浄対象は専用トレイにセットされ、各処理チャンバーで効率の良い洗浄/乾燥が行われます。ワイヤトレイの搬送には、パーティクル防止対策がなされてたヒューグル独自の特殊ローラー方式を採用しています。

■製品概要

・多種容器対応可能 ・省スペース／省エネ設計 ・Hugle独自の超精密洗浄 ・完全乾燥を実現する高効率ホットエアーナイフ乾燥 ・多様なオプション対応 ・SEMI S2,S8,CE規格準拠

  • シリーズ

    8インチ以下 洗浄装置 カセット・ボックス フルオート洗浄システム SC-8

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8インチ以下 洗浄装置 カセット・ボックス フルオート洗浄システム SC-8 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 装置本体
8インチ以下 洗浄装置 カセット・ボックス フルオート洗浄システム SC-8-品番-SC-8

SC-8

要見積もり

2,630 (W) ×1,170 (D) ×1,706 (H) mm (突起物含まず)

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会社概要

ヒューグルエレクトロニクス株式会社は1971年に設立した、半導体関連製品のメーカーです。 容器洗浄装置、非接触に数ミクロンの異物を除去できる超音波ドライクリーナー、非接触で静電気の除電を行えるイオナイザーなどの半導体や...

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  • 本社所在地: 東京都

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