8インチ対応洗浄装置 SMIF POD マニュアル洗浄システム IA-8-IA-8

8インチ対応洗浄装置 SMIF POD マニュアル洗浄システム IA-8
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この製品について

8インチ用SMIFPODの精密洗浄・乾燥を目的として開発された前面タッチパネル方式のマニュアル洗浄機です。IA-8は、容器洗浄装置メーカーならではの高度な知識と最新の技術が装備された研究用、パイロットライン等に最適な洗浄・乾燥装置です。IA-8はカセットの洗浄・乾燥等も可能です。

■製品概要・SMIFPODのカバー部の内外面、ベース部内面の同時純水ジェット洗浄・エアーナイフ温風乾燥
・ポッドは回転させ、至近距離に配置されたノズルから精密な洗浄、乾燥
・洗浄中以外は少量の純水を排水してバクテリアの発生防止
・タッチパネルによる簡単操作
・シーケンサ方式採用のコントローラー
・作業者にやさしい各種安全装置
・容易なメンテナンス
・ニーズに合わせた種々のオプション設計が可能

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
8インチ対応洗浄装置 SMIF POD マニュアル洗浄システム IA-8

取扱企業
ヒューグルエレクトロニクス株式会社

カテゴリ

半導体製造

半導体洗浄装置

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8インチ対応洗浄装置 SMIF POD マニュアル洗浄システム IA-8 品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	セット方式	処理対象	処理時間	外形寸法	重量	電源	純水流量	純水圧力	CDA (クリーンドライエアー) 流量	CDA (クリーンドライエアー) 圧力	排気	排水
	IA-8	要見積もり	マニュアル	8インチSMIFPOD/8インチカセット	1セット/15分	1,300 (W) ×70 (D) ×1,580 (H) mm (チャンバー扉開口時)	300kg	3相、200VAC (アース付) 、8KVA、50/60Hz	10リットル/min (最低必要流量)	0.1Mpa	1,600NL/min	0.7Mpa	排気量2,000NL/min以上	流量40リットル/min以上