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シリーズ
8インチ対応 洗浄装置 SMIF POD マニュアル洗浄システム IA-8取扱企業
ヒューグルエレクトロニクス株式会社カテゴリ
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半導体洗浄装置の製品41点中、注目ランキング上位6点
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商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | セット方式 | 処理対象 | 処理時間 | 外形寸法 | 重量 | 電源 | 純水 流量 | 純水 圧力 | CDA (クリーンドライエアー) 流量 | CDA (クリーンドライエアー) 圧力 | 排気 | 排水 |
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IA-8 |
要見積もり |
マニュアル |
8インチSMIFPOD/8インチカセット |
1セット/15分 |
1,300 (W) ×70 (D) ×1,580 (H) mm (チャンバー扉開口時) |
300kg |
3相、200VAC (アース付) 、8KVA、50/60Hz |
10リットル/min (最低必要流量) |
0.1Mpa |
1,600NL/min |
0.7Mpa |
排気量2,000NL/min以上 |
流量40リットル/min以上 |
半導体洗浄装置をフィルターから探すことができます
対応サイズ インチ
0 - 4 4 - 8 8 - 12装置寸法 mm
0 - 500 500 - 1,000 1,000 - 1,500 1,500 - 2,000 2,000 - 2,500 2,500 - 3,500本体重量 kg
0 - 50 50 - 100 100 - 500電源 V
0 - 100 100 - 200 200 - 250