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12インチ対応 洗浄装置 FOUP/FOSBフルオート洗浄システムUPC-12500 (SORA) -UPC-12500
12インチ対応 洗浄装置 FOUP/FOSBフルオート洗浄システムUPC-12500 (SORA) -ヒューグルエレクトロニクス株式会社

12インチ対応 洗浄装置 FOUP/FOSBフルオート洗浄システムUPC-12500 (SORA)
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この製品について

300mmウェハ用FOUPの自動洗浄装置としては、世界トップクラスの実績と信頼を得てきたUPC-12100をモデルチェンジ。現代の半導体製造には不可欠な高品質・高スループット・省エネをコンセプトに改良されました。SEMI規格はもちろん、CE規格にも準拠しております。

■製品概要

・高スループット ・省フットプリント設計 ・省エネ対策 ・全自動FOUP開閉によるクロスコンタミネーション防止 ・2流体ジェット洗浄方式による超精密洗浄 ・高効率乾燥方式 ・SEMI通信規格GEM300対応 ・高納入実績 ・SEMIS2，S8，CE規格準拠

  • シリーズ

    12インチ対応 洗浄装置 FOUP/FOSBフルオート洗浄システムUPC-12500 (SORA)

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12インチ対応 洗浄装置 FOUP/FOSBフルオート洗浄システムUPC-12500 (SORA) 品番1件

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12インチ対応 洗浄装置 FOUP/FOSBフルオート洗浄システムUPC-12500 (SORA) -品番-UPC-12500

UPC-12500

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会社概要

ヒューグルエレクトロニクス株式会社は1971年に設立した、半導体関連製品のメーカーです。 容器洗浄装置、非接触に数ミクロンの異物を除去できる超音波ドライクリーナー、非接触で静電気の除電を行えるイオナイザーなどの半導体や...

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  • 本社所在地: 東京都

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