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12インチ対応 洗浄装置 FOUP/FOSBフルオート洗浄システムUPC-12500 (SORA) -UPC-12500
12インチ対応 洗浄装置 FOUP/FOSBフルオート洗浄システムUPC-12500 (SORA) -ヒューグルエレクトロニクス株式会社

12インチ対応 洗浄装置 FOUP/FOSBフルオート洗浄システムUPC-12500 (SORA)
ヒューグルエレクトロニクス株式会社

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この製品について

300mmウェハ用FOUPの自動洗浄装置としては、世界トップクラスの実績と信頼を得てきたUPC-12100をモデルチェンジ。現代の半導体製造には不可欠な高品質・高スループット・省エネをコンセプトに改良されました。SEMI規格はもちろん、CE規格にも準拠しております。

■製品概要

・高スループット ・省フットプリント設計 ・省エネ対策 ・全自動FOUP開閉によるクロスコンタミネーション防止 ・2流体ジェット洗浄方式による超精密洗浄 ・高効率乾燥方式 ・SEMI通信規格GEM300対応 ・高納入実績 ・SEMIS2,S8,CE規格準拠

  • シリーズ

    12インチ対応 洗浄装置 FOUP/FOSBフルオート洗浄システムUPC-12500 (SORA)

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12インチ対応 洗浄装置 FOUP/FOSBフルオート洗浄システムUPC-12500 (SORA) 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 装置本体
12インチ対応 洗浄装置 FOUP/FOSBフルオート洗浄システムUPC-12500 (SORA) -品番-UPC-12500

UPC-12500

要見積もり

2,200 (W) ×3,250 (D) ×2,500 (H) mm (突起物含まず)

フィルターから探す

半導体洗浄装置をフィルターから探すことができます

対応サイズ インチ

0 - 4 4 - 8 8 - 12

装置寸法 mm

0 - 500 500 - 1,000 1,000 - 1,500 1,500 - 2,000 2,000 - 2,500 2,500 - 3,500

本体重量 kg

0 - 50 50 - 100 100 - 500

電源 V

0 - 100 100 - 200 200 - 250

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この商品の取り扱い会社情報

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43.7時間

会社概要

ヒューグルエレクトロニクス株式会社は1971年に設立した、半導体関連製品のメーカーです。 容器洗浄装置、非接触に数ミクロンの異物を除去できる超音波ドライクリーナー、非接触で静電気の除電を行えるイオナイザーなどの半導体や...

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  • 本社所在地: 東京都
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