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12インチ対応 洗浄装置 FOUP/FOSB マニュアル洗浄システム IF-12-IF-12
12インチ対応 洗浄装置 FOUP/FOSB マニュアル洗浄システム IF-12-ヒューグルエレクトロニクス株式会社

12インチ対応 洗浄装置 FOUP/FOSB マニュアル洗浄システム IF-12
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この製品について

FOUPやFOSBの洗浄により半導体製造の高生産性を維持・向上させる概念が必要不可欠な時代です。IF-12は、1台で各種FOUP/FOSBの洗浄/乾燥処理が可能です。ヒューグル独自のチャンバー構造によりいかなるプロセスキットの変更や段取り換えも不要です。

■製品概要

・高スループット (当社旧モデル比) ・省フットプリント ・除電/除塵対策 ・ノズルジェット洗浄による精密洗浄 ・ホットエアーナイフ乾燥による短時間での完全乾燥 ・死水防止機能搭載 ・自動FOUPOpner機構追加可能 (Option)

  • シリーズ

    12インチ対応 洗浄装置 FOUP/FOSB マニュアル洗浄システム IF-12

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12インチ対応 洗浄装置 FOUP/FOSB マニュアル洗浄システム IF-12 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 装置本体
12インチ対応 洗浄装置 FOUP/FOSB マニュアル洗浄システム IF-12-品番-IF-12

IF-12

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2,300 (W) ×1,400 (D) ×2,200 (H) mm (突起物含まず)

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会社概要

ヒューグルエレクトロニクス株式会社は1971年に設立した、半導体関連製品のメーカーです。 容器洗浄装置、非接触に数ミクロンの異物を除去できる超音波ドライクリーナー、非接触で静電気の除電を行えるイオナイザーなどの半導体や...

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  • 本社所在地: 東京都

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