距離・厚さ非接触測定用高精度白色光干渉計 interferoMETER-interferoMETER 5400-DS

距離・厚さ非接触測定用高精度白色光干渉計 interferoMETER-interferoMETER 5400-TH

距離・厚さ非接触測定用高精度白色光干渉計 interferoMETER-interferoMETER 5600-DS

距離・厚さ非接触測定用高精度白色光干渉計 interferoMETER-interferoMETER 5420

距離・厚さ非接触測定用高精度白色光干渉計 interferoMETER-Micro-Epsilon Japan株式会社

距離・厚さ非接触測定用高精度白色光干渉計 interferoMETER
Micro-Epsilon Japan株式会社

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この製品について

マイクロエプシロン社の革新的な白色光干渉計は、高精度な距離・厚み測定におけるベンチマークを打ち立てています。サブナノメートルの分解能で安定した測定結果をもたらし、比較的広い測定範囲と長いオフセット距離を提供しています。

■特徴・ 絶対の距離とマルチピーク距離測定
・ 距離に依存しない厚みと重層厚み測定
・ クラス最高の<30ピコメートルの分解能と卓越した直線性
・ 新しい評価アルゴリズムと能動温度補正による高い信号安定性
・ Webインターフェースを介した容易なパラメータ化
・ バス接続も可能な多数のインターフェース

■三機種の干渉計をご用意・高精度な工業用距離測定のためのIMS5400-DS
・正確な厚み測定のためのIMS5400-TH
・ピコメートル分解能の距離測定に対応した真空環境に適したIMS5600-DS

型番
この商品には4種類の型番があります

シリーズ
距離・厚さ非接触測定用高精度白色光干渉計 interferoMETER

取扱企業
Micro-Epsilon Japan株式会社

カテゴリ

測定機器

干渉計

センサー

エッジセンサー

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距離・厚さ非接触測定用高精度白色光干渉計 interferoMETER 品番4件

フィルター

品番	価格 (税抜)	測定範囲 2.1mm 45 mm ±3.5 mm 70 mm ±2.1 mm	直線性 < ±50 nm < ±100 nm < ±10 nm 20 µm	分解能 < 1 nm < 30 pm 1 nmまで	測定レート最大6 kHz
interferoMETER 5400-DS	要見積もり	2.1mm	< ±50 nm	< 1 nm	最大6 kHz
interferoMETER 5400-TH	要見積もり	45 mm ±3.5 mm 70 mm ±2.1 mm	< ±100 nm	< 1 nm	最大6 kHz
interferoMETER 5600-DS	要見積もり	2.1mm	< ±10 nm	< 30 pm	最大6 kHz
interferoMETER 5420	要見積もり	-	20 µm	1 nmまで	-