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シリーズ
距離・厚さ非接触測定用高精度 白色光干渉計 interferoMETERカテゴリ
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商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 測定範囲 | 直線性 | 分解能 | 測定レート | |
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interferoMETER 5400-DS |
要見積もり | 2.1mm | < ±50 nm | < 1 nm | 最大6 kHz | ||
interferoMETER 5400-TH |
要見積もり |
45 mm ±3.5 mm 70 mm ±2.1 mm |
< ±100 nm | < 1 nm | 最大6 kHz | ||
interferoMETER 5600-DS |
要見積もり | 2.1mm | < ±10 nm | < 30 pm | 最大6 kHz | ||
interferoMETER 5420 |
要見積もり | - | 20 µm | 1 nmまで | - |