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ルーツ真空ポンプ Rシリーズ-R6002
ルーツ真空ポンプ Rシリーズ-株式会社大阪真空機器製作所

ルーツ真空ポンプ Rシリーズ
株式会社大阪真空機器製作所

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■R6002

・回転軸が強い→低真空起動、低真空連続運転可能 ・負荷条件に合ったモータの選択が可能→設備費削減、効率的な運転により省コスト化 ・幅広い排気速度のポンプをラインアップ→90~12,000m3/hまで対応 ・補助ポンプとの組み合わせが多種多様→ルーツ+油回転・液封式 ・ベルト駆動で大排気速度 ・大容量チャンバーの排気に最適 ・逃し弁 (オプション) により吸入圧力の高い領域でも最大限に排気能力を発揮 ・プロセスに合わせて最適な組み合わせを提案

■用途

・半導体、FPD ・薄膜コーティング ・金属、鉄鋼、産業機器 ・医療、化学、医薬品、食品 ・研究開発

  • シリーズ

    ルーツ真空ポンプ Rシリーズ

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ルーツ真空ポンプ Rシリーズ 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 吸気口フランジ 呼び排気速度 (m3/h) 50Hz 呼び排気速度 (m3/h) 60Hz 許容圧力差 (kPa) (標準モータ使用時) 50Hz 許容圧力差 (kPa) (標準モータ使用時) 60Hz 試験到達圧力 (Pa) 補助ポンプ1段RP 試験到達圧力 (Pa) 補助ポンプ2段RP 基準補助ポンプの排気速度 (m3/h) 回転数 (r/min) 50Hz 回転数 (r/min) 60Hz 標準モータ出力 (kW) 油量 (L) 冷却水量 (m3/h) 質量 (kg) 全閉外扇屋内形モータ付 質量 (kg) モータなし
ルーツ真空ポンプ Rシリーズ-品番-R6002

R6002

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300A JIS5KFF

6,000

6,000

4.7

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7×10^-2

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690~900

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会社概要

株式会社大阪真空機器製作所は、1950年創業の真空機器・真空ポンプメーカーです。 製品としては、ターボ分子ポンプやドライ真空ポンプ、ルーツ真空ポンプ等を取り扱っています。また、製品の製造・販売だけでなく、メンテナンスサ...

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  • 本社所在地: 大阪府
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