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油潤滑複合分子ポンプ TGシリーズ-TG203
油潤滑複合分子ポンプ TGシリーズ-株式会社大阪真空機器製作所

油潤滑複合分子ポンプ TGシリーズ
株式会社大阪真空機器製作所

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この製品について

油潤滑玉軸受を採用しています。200L/s~5,500L/sまでの全クラスにケミカル形をラインアップしており、腐食性ガスを排気する用途に対応します。

■TG203

・腐食性ガスの排気に強いケミカル形 ・不意の大気突入に強い構造 ・外部からの衝撃に強い ・シリアル通信可能 ・安全規格NRTL/SEMI-S2/CE

■用途

・半導体製造 ・電子銃排気、イオン源排気 ・FPD製造 ・表面処理、表面改質 ・各種電子部品製造 ・管球製造、光学部品製造 ・加速器、放射線施設、核融合研究 ・熱処理 ・研究開発※クリーンプロセス向けはTG-Fシリーズ、TG-Mシリーズ、TGkineシリーズをお選びください。

  • シリーズ

    油潤滑複合分子ポンプ TGシリーズ

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油潤滑複合分子ポンプ TGシリーズ 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 吸気口フランジ 排気速度 N2 (L/s) 排気速度 N2 (保護金網付) (L/s) 排気速度 H2 (L/s) 最大圧縮比 N2 最大圧縮比 H2 到達圧力 VG・ISO-R/CF (Pa) 到達圧力 VG・ISO-R/CF (Torr) 最大ガス流量 起動時間 (min) 停止時間 (min) 許容補助圧力 (Pa / Torr) 推奨補助ポンプ (L/min) 潤滑油量 (mL) 取付姿勢 質量 (kg) コントローラ型式
油潤滑複合分子ポンプ TGシリーズ-品番-TG203

TG203

要見積もり

VG100 CF100 ISO-R100

200

140

150

1×10^8

4×10^3

<1×10^-6/ < 1×10^-7

<7.5×10^-9/< 7.5×10^-10

543

4-6

4-6

550/4.1

80

70

垂直 (±10°)

11

TC203

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

株式会社大阪真空機器製作所は、1950年創業の真空機器・真空ポンプメーカーです。 製品としては、ターボ分子ポンプやドライ真空ポンプ、ルーツ真空ポンプ等を取り扱っています。また、製品の製造・販売だけでなく、メンテナンスサ...

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  • 本社所在地: 大阪府
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