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磁気軸受形複合分子ポンプ TGkine®-Bシリーズ-TGkine1700M-B
磁気軸受形複合分子ポンプ TGkine®-Bシリーズ-株式会社大阪真空機器製作所

磁気軸受形複合分子ポンプ TGkine®-Bシリーズ
株式会社大阪真空機器製作所

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この製品について

コントローラと電源ユニットの一体化を実現しました。出力ケーブルやコントローララックが不要になり、装置の省スペース化が可能となります。TG-Mシリーズの特長を踏襲し、ロータ設計の最適化により排気性能をさらに向上しました。

■ 特長

・コントローラ・電源一体型 ・省電力設計 ・省スペース ・IP54標準対応 ・多様な通信仕様 ・国際規格適合CE/NRTL/SEMI-S2

■ 用途

・半導体製造装置 ・FPD製造装置 ・太陽電池製造装置 ・ガラス/レンズ等の光学部品加工 ・フィルム加工 ・加速器/宇宙環境試験装置

  • シリーズ

    磁気軸受形複合分子ポンプ TGkine®-Bシリーズ

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磁気軸受形複合分子ポンプ TGkine®-Bシリーズ 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 吸気口フランジ 排気口フランジ 排気速度 N2 (L/s) 排気速度 N2 (保護金給付) (L/s) 排気速度 H2 (L/s) 最大圧縮比 N2 最大圧縮比 H2 最大ガス流量 N2 (sccm) 最大ガス流量 Ar (sccm) 起動時間 (min) 停止時間 (min) 到達圧力 (Pa) 到達圧力 (Torr) 許容補助圧力 (Pa) 許容補助圧力 (Torr) 推奨補助ポンプ (L/min) 取付姿勢 入力電圧 (ACV) 入力相数 周波数 (Hz) 電流 (A) 所要電力 (kVA) 質量 (kg)
磁気軸受形複合分子ポンプ TGkine®-Bシリーズ-品番-TGkine1700M-B

TGkine1700M-B

要見積もり

ISO-B200 VG200

KF40

1,650

1,570

1,550

>2×10^8

3×10^3

4,400

2,600

≦10

≦10

<2×10^-7

<1.5×10^-9

220

1.65

≧2,000

自在

AC200-240V

単相

50/60

Max.5.3

Max.0.9

65

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

株式会社大阪真空機器製作所は、1950年創業の真空機器・真空ポンプメーカーです。 製品としては、ターボ分子ポンプやドライ真空ポンプ、ルーツ真空ポンプ等を取り扱っています。また、製品の製造・販売だけでなく、メンテナンスサ...

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  • 本社所在地: 大阪府
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