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シリーズ
姿勢自在形複合分子ポンプ TG-Fシリーズ取扱企業
株式会社大阪真空機器製作所カテゴリ
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商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 吸気口フランジ | 排気速度 N2 (L/s) | 排気速度 N2 (保護金網付) (L/s) | 排気速度 H2 (L/s) | 最大圧縮比 N2 | 最大圧縮比 H2 | 到達圧力 VG・ISO-R/CF (Pa) | 到達圧力 VG・ISO-R/CF (Torr) | 最大ガス流量 N2 (sccm) | 起動時間 (min) | 停止時間 (min) | 許容補助圧力 (Pa / Torr) | 推奨補助ポンプ (L/min) | 取付姿勢 | 質量 VG・ISO-R/CF (kg) | コントローラ型式 |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
![]() |
TG50F |
要見積もり |
VG65 ISO-R63 CF63 |
51 |
49 |
12 |
1.4×10^7 |
5×10^2 |
<3×10^-6 |
<2.3×10^-8 |
80 |
1-1.5 |
1-1.5 |
1330 / 10 |
≧50 |
自在 |
4.2/6 |
TC64 |
真空ポンプをフィルターから探すことができます
使用用途
#コーティング表面処理 #半導体電子部品 #分析実験室 #乾燥濃縮蒸発脱水 #吸着搬送 #湿分蒸気対応 #食品 #産業用途 #化学薬品対応 #真空包装動作原理
油回転型 ドライ型 ターボ分子型 クライオ型 イオン型構造形式
直結型 ベルト駆動型圧力領域
低真空用 中真空用 高真空用冷却方式
空冷型 水冷型到達真空度 Pa
0 - 0.01 0.01 - 0.1 0.1 - 1 1 - 10 10 - 100 100 - 1,000 1,000 - 1,100 1,100 - 100,000排気速度 L/min
0 - 100 100 - 500 500 - 5,000 5,000 - 50,000 50,000 - 500,000 500,000 - 5,000,000モータ出力 kW
0 - 0.5 0.5 - 2 2 - 10 10 - 30 30 - 70 70 - 110 110 - 150質量 kg
0 - 10 10 - 50 50 - 200 200 - 1,000 1,000 - 4,000 4,000 - 6,000騒音値 dB(A)
40 - 45 45 - 50 50 - 55 55 - 60 60 - 65 65 - 70 70 - 75 75 - 80 80 - 85電源電圧 V
0 - 30 30 - 150 150 - 250 250 - 380 380 - 500