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シリーズ
姿勢自在形複合分子ポンプ TG-Fシリーズ取扱企業
株式会社大阪真空機器製作所カテゴリ
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商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 吸気口フランジ | 排気速度 N2 (L/s) | 排気速度 N2 (保護金網付) (L/s) | 排気速度 H2 (L/s) | 最大圧縮比 N2 | 最大圧縮比 H2 | 到達圧力 VG・ISO-R/CF (Pa) | 到達圧力 VG・ISO-R/CF (Torr) | 最大ガス流量 N2 (sccm) | 起動時間 (min) | 停止時間 (min) | 許容補助圧力 (Pa / Torr) | 推奨補助ポンプ (L/min) | 取付姿勢 | 質量 VG・ISO-R/CF (kg) | コントローラ型式 |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
TG50F |
要見積もり |
VG65 ISO-R63 CF63 |
51 |
49 |
12 |
1.4×10^7 |
5×10^2 |
<3×10^-6 |
<2.3×10^-8 |
80 |
1-1.5 |
1-1.5 |
1330 / 10 |
≧50 |
自在 |
4.2/6 |
TC64 |