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姿勢自在形複合分子ポンプ TG-Fシリーズ-TG50F
姿勢自在形複合分子ポンプ TG-Fシリーズ-株式会社大阪真空機器製作所

姿勢自在形複合分子ポンプ TG-Fシリーズ
株式会社大阪真空機器製作所

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グリス潤滑玉軸受を採用し、小型・軽量・低コストを実現しました。また、耐衝撃性が高く、可搬式装置や装置の可動部へのTMP搭載が可能で、ターボ分子ポンプの新しい可能性を追求したシリーズです。50L/s~2,400L/sクラスまでラインアップしています。

■姿勢自在形複合分子ポンプTG50Fの特長

・取付姿勢自在 ・コンパクトサイズ ・省エネルギー ・急速起動 ・急速ベント停止が可能 ・大気突入に対応 ・シリアル通信可能

■用途

・半導体製造 ・電子銃排気、イオン源排気 ・FPD製造 ・表面処理、表面改質 ・各種電子部品製造 ・分析、試験装置 ・管球製造、光学部品製造 ・加速器、放射線施設、核融合研究 ・熱処理 ・研究開発

  • シリーズ

    姿勢自在形複合分子ポンプ TG-Fシリーズ

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姿勢自在形複合分子ポンプ TG-Fシリーズ 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 吸気口フランジ 排気速度 N2 (L/s) 排気速度 N2 (保護金網付) (L/s) 排気速度 H2 (L/s) 最大圧縮比 N2 最大圧縮比 H2 到達圧力 VG・ISO-R/CF (Pa) 到達圧力 VG・ISO-R/CF (Torr) 最大ガス流量 N2 (sccm) 起動時間 (min) 停止時間 (min) 許容補助圧力 (Pa / Torr) 推奨補助ポンプ (L/min) 取付姿勢 質量 VG・ISO-R/CF (kg) コントローラ型式
姿勢自在形複合分子ポンプ TG-Fシリーズ-品番-TG50F

TG50F

要見積もり

VG65 ISO-R63 CF63

51

49

12

1.4×10^7

5×10^2

<3×10^-6

<2.3×10^-8

80

1-1.5

1-1.5

1330 / 10

≧50

自在

4.2/6

TC64

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

株式会社大阪真空機器製作所は、1950年創業の真空機器・真空ポンプメーカーです。 製品としては、ターボ分子ポンプやドライ真空ポンプ、ルーツ真空ポンプ等を取り扱っています。また、製品の製造・販売だけでなく、メンテナンスサ...

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  • 本社所在地: 大阪府
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