セラミックス製品超高純度、高耐熱性、高耐摩耗性を実現 SiCダミーウェハ-SiCダミーウェハ

セラミックス製品超高純度、高耐熱性、高耐摩耗性を実現 SiCダミーウェハ
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この製品について

独自のCVD-SiCで製作され、超高純度、高耐食性、高耐酸化性、高耐熱性、高耐摩耗性の特性を持ちます。

■基本情報超高純度で耐食性及び耐熱性に優れているSiCダミーウェハは、長期のリサイクル使用が可能で、LP-CVD、高温拡散、CMP工程にてご使用頂けます。SiCダミーウェハを長期使用頂く事で、シリコンウェハの節約、ダミーウェハの交換や洗浄等管理工数削減により、コストダウンに貢献いたします。

■コストダウンに貢献・長期のリサイクル使用が可能
・超高純度で耐食性及び耐熱性に優れている
・長期使用頂く事で、シリコンウェハの節約、ダミーウェハの交換や洗浄等管理工数削減につながる

■特徴・高純度 (純度はppmレベル) 
・高耐酸化性 (長期間酸化雰囲気で使用可能) 
・高耐食性 (Wet洗浄のみで堆積膜や表面汚染を除去可能) 
・低拡散係数 (表面汚染のSiC内部拡散は困難) 
・デポ膜がはがれにくく、パーティクルの低減に貢献

■主な用途・LP-CVD工程用ダミーウェハ
・高温拡散工程用ダミーウェハ
・CMP工程用ダミーウェハ (シーズニング用途) 