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セラミックス製品 超高純度、高耐熱性、高耐摩耗性を実現 SiCダミーウェハ-SiCダミーウェハ
セラミックス製品 超高純度、高耐熱性、高耐摩耗性を実現 SiCダミーウェハ-株式会社渡辺商行

セラミックス製品 超高純度、高耐熱性、高耐摩耗性を実現 SiCダミーウェハ
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この製品について

独自のCVD-SiCで製作され、超高純度、高耐食性、高耐酸化性、高耐熱性、高耐摩耗性の特性を持ちます。

■基本情報

超高純度で耐食性及び耐熱性に優れているSiCダミーウェハは、長期のリサイクル使用が可能で、LP-CVD、高温拡散、CMP工程にてご使用頂けます。SiCダミーウェハを長期使用頂く事で、シリコンウェハの節約、ダミーウェハの交換や洗浄等管理工数削減により、コストダウンに貢献いたします。

■コストダウンに貢献

・長期のリサイクル使用が可能 ・超高純度で耐食性及び耐熱性に優れている ・長期使用頂く事で、シリコンウェハの節約、ダミーウェハの交換や洗浄等管理工数削減につながる

■特徴

・高純度 (純度はppmレベル) ・高耐酸化性 (長期間酸化雰囲気で使用可能) ・高耐食性 (Wet洗浄のみで堆積膜や表面汚染を除去可能) ・低拡散係数 (表面汚染のSiC内部拡散は困難) ・デポ膜がはがれにくく、パーティクルの低減に貢献

■主な用途

・LP-CVD工程用ダミーウェハ ・高温拡散工程用ダミーウェハ ・CMP工程用ダミーウェハ (シーズニング用途)

  • シリーズ

    セラミックス製品 超高純度、高耐熱性、高耐摩耗性を実現 SiCダミーウェハ

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セラミックス製品 超高純度、高耐熱性、高耐摩耗性を実現 SiCダミーウェハ 品番1件

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株式会社渡辺商行は、輸出入の専門商社として1930年に創業しました。 その後、好不況の波を受けにくい体制を目指し、モノづくり商社として 1969年 トムコ設立、1971年 ワコム製作所設立、2008年 天谷製作所をグルー...

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