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セラミックス製品 高純度、高強度、高耐食性 炭化けい素セラミックス (TPSS) -株式会社渡辺商行

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高純度、高強度、高耐食性を兼ね備えた半導体製造プロセスに欠かせない半導体関連材料。 高純度炭化けい素を主成分とするTPSSは、クアーズテック社独自の技術により開発された半導体関連材料です。半導体熱処理炉用炉芯管をはじめ均熱管、ボート、フォークなどに応用されています。

■基本情報

高純度炭化ケイ素を主成分とするTPSSはクアーズテック社独自の技術により開発された半導体関連材料です。TPSS製品は、高純度、高強度、高耐食性など数多くの特性をもっており、半導体熱処理炉用炉芯管をはじめ均熱管、ボート、フォークなどに応用されています。また、製品の表面にCVD法により超高純度で緻密な炭化ケイ素膜をコーティングしたグレードも提供しており、幅広いユーザーニーズに対応しています。特に精密加工技術を取り入れたウェーハボートには定評があり、300mmウェーハプロセスでの品質、歩留向上にも貢献しています。

■材料

高純度反応焼結炭化ケイ素 TPSS

■特徴

・高温から低温プロセスまで幅広いユーザーニーズに対応 ・高純度、高強度、高耐食性 ・高温での使用が可能 (～1,350℃) ・パーティクル発生を抑制

■用途

半導体製造プロセス関連製品 (炉芯管、均熱管、ボート、細管、断熱板、部品等)

■納入実績

・国内半導体デバイスメーカー ・国内半導体製造装置メーカー ・国内シリコンウェーハメーカー

  • シリーズ

    セラミックス製品 高純度、高強度、高耐食性 炭化けい素セラミックス (TPSS)

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株式会社渡辺商行は、輸出入の専門商社として1930年に創業しました。 その後、好不況の波を受けにくい体制を目指し、モノづくり商社として 1969年 トムコ設立、1971年 ワコム製作所設立、2008年 天谷製作所をグルー...

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