セラミックス製品 高純度、高強度、高耐食性 炭化けい素セラミックス (TPSS)
株式会社渡辺商行
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この製品について
■基本情報
高純度炭化ケイ素を主成分とするTPSSはクアーズテック社独自の技術により開発された半導体関連材料です。TPSS製品は、高純度、高強度、高耐食性など数多くの特性をもっており、半導体熱処理炉用炉芯管をはじめ均熱管、ボート、フォークなどに応用されています。また、製品の表面にCVD法により超高純度で緻密な炭化ケイ素膜をコーティングしたグレードも提供しており、幅広いユーザーニーズに対応しています。特に精密加工技術を取り入れたウェーハボートには定評があり、300mmウェーハプロセスでの品質、歩留向上にも貢献しています。■材料
高純度反応焼結炭化ケイ素 TPSS■特徴
・高温から低温プロセスまで幅広いユーザーニーズに対応 ・高純度、高強度、高耐食性 ・高温での使用が可能 (～1,350℃) ・パーティクル発生を抑制■用途
半導体製造プロセス関連製品 (炉芯管、均熱管、ボート、細管、断熱板、部品等)■納入実績
・国内半導体デバイスメーカー ・国内半導体製造装置メーカー ・国内シリコンウェーハメーカー-
シリーズ
セラミックス製品 高純度、高強度、高耐食性 炭化けい素セラミックス (TPSS)
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取扱企業
株式会社渡辺商行
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セラミックス製品 高純度、高強度、高耐食性 炭化けい素セラミックス (TPSS) 品番1件
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) |
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TPSS |
要見積もり |
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