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表面粗さ測定機 サブナノ粗さからミリ形状まで3D白色干渉顕微鏡 非接触三次元表面粗さ・形状測定機 Opt-scope取扱企業
明伸工機株式会社カテゴリ
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2024年9月16日にレビュー済み
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3D形状測定機の製品89点中、注目ランキング上位6点
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 走査範囲 (Z) | 分解能 (Z) | 指示精度 (Z) | 測定範囲 (X,Y) | CCD画素数 | CCD分解能 (X,Y) | 最大測定高さ | レンズ取付方式 | 測定原理 | 光源 | 撮像素子 | 垂直表示分解能 | Sq繰り返し精度σ | 段差繰り返し精度σ | Z軸指示精度 | 走査速度 | チルトテーブル 傾斜範囲 | チルトテーブル 積載可能重量 | XY電動ステージ ストローク | XY電動ステージ 積載可能重量 | 最大測定ワーク高さ チルトテーブル | 最大測定ワーク高さ XYテーブル取付時 | 除振台 | 測定部外形寸法 幅 / 奥行 / 高さ | 本体質量 | 電圧 | 消費電力 | 空気源 (パッシブ除振時) | 環境温度 | 温度変化 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
Opt-scope R |
要見積もり |
20mm |
0.1nm |
0.8±｜2H/100｜μm |
約1.7×1.7mm |
2,048×2,048 |
1.10μm |
200mm |
5穴レボルバ式 |
垂直走査低コヒーレンス干渉法 |
白色LED |
カラー CMOSイメージセンサ※オプション機能 |
0.01 nm |
0.005 nm |
0.05 % |
0.1 +|H/1,000| µm (H: 測定高さ µm) |
2 ~ 100 µm/sec |
± 1° |
20kg |
±12.5 mm or ±25 mm※オプション機能 |
14kg※オプション機能 |
159 mm (コラムスペーサオプション時：289 mm※オプション機能) |
58 mm (コラムスペーサオプション時：188 mm※オプション機能) |
パッシブ方式 or アクティブ方式※オプション機能 |
620 mm / 800 mm / 1,532 mm |
175 kg |
単相 AC100 / 110±10% (50/60 Hz) |
1,200 W |
供給圧力 0.35 - 0.7 Mpa |
18 ~ 30 ℃ |
±0.5 ℃ /hour |
