表面粗さ測定機 サブナノ粗さからミリ形状まで3D白色干渉顕微鏡 非接触三次元表面粗さ・形状測定機 Opt-scope-Opt-scope R
表面粗さ測定機 サブナノ粗さからミリ形状まで3D白色干渉顕微鏡 非接触三次元表面粗さ・形状測定機 Opt-scope-明伸工機株式会社

表面粗さ測定機 サブナノ粗さからミリ形状まで3D白色干渉顕微鏡 非接触三次元表面粗さ・形状測定機 Opt-scope
明伸工機株式会社

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この製品について

■概要

・ナノレベルの表面性状を測定する3D白色干渉顕微鏡 ・機械加工部品の表面粗さ・形状を非接触で短時間に測定 特長

■高効率

短時間で三次元表面性状を測定。接触式測定機と比較して100倍以上の時間短縮が可能

■安定性

微細粗さ形状から機械加工面までの東京精密独自の白色干渉縞ピーク検出アルゴリズム (DEAP) により、安定した形状データを取得

■操作性

定評あるACCTee、SurfcomMapによる豊富な解析と抜群の操作性

■こんな業界におすすめ

・機械加工部品 (フライスなどの機械加工面の面性状評価) ・半導体関連 (ウエハ) ・ゴムローラー ・砥石のグレイン解析 ・シボ加工樹脂成形品 など

■フォーカスバリエーション測定機能

・ミリ形状を高速スキャン ・三次元表面性状国際規格ISO 25178-6:2010に測定方法として定められている全焦点画像顕微鏡法 (focus variation microscopy) を用いたフォーカスバリエーション測定機能を、新たにオプションとして追加しました。 (工場出荷オプション)

■白色干渉方式だから短時間で測定完了

白色干渉の原理を用いて、機械加工部品などの表面粗さ・形状を非接触かつ短時間に測定します。触針式の三次元表面粗さ測定機で必要なXY軸方向のスキャン動作が不要なため、測定スピードが圧倒的に速く、短時間で測定が完了します。

■独自の白色干渉縞

ピーク検出手法 DEAPディープ (Algorithm for Detection of Envelope and Absolute Phase) とは東京精密独自の包絡線 / 絶対位相検出アルゴリズムです。PSI (位相シフト干渉法) よりも広い測定範囲を持ち、VSI (垂直走査型干渉法) よりも高い分解能かつ広い測定範囲で、更に高感度に包絡線を算出します。ディープの測定ノイズの低減効果により、圧倒的な実効分解能を実現することで、従来では上手く測定できなかった機械加工部品の傾斜面でも、より鮮明な形状データの取得が可能になりました。

  • シリーズ

    表面粗さ測定機 サブナノ粗さからミリ形状まで3D白色干渉顕微鏡 非接触三次元表面粗さ・形状測定機 Opt-scope

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表面粗さ測定機 サブナノ粗さからミリ形状まで3D白色干渉顕微鏡 非接触三次元表面粗さ・形状測定機 Opt-scope 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 走査範囲 (Z) 分解能 (Z) 指示精度 (Z) 測定範囲 (X,Y) CCD画素数 CCD分解能 (X,Y) 最大測定高さ レンズ取付方式 測定原理 光源 撮像素子 垂直表示分解能 Sq繰り返し精度σ 段差繰り返し精度σ Z軸指示精度 走査速度 チルトテーブル 傾斜範囲 チルトテーブル 積載可能重量 XY電動ステージ ストローク XY電動ステージ 積載可能重量 最大測定ワーク高さ チルトテーブル 最大測定ワーク高さ XYテーブル取付時 除振台 測定部外形寸法 幅 / 奥行 / 高さ 本体質量 電圧 消費電力 空気源 (パッシブ除振時) 環境温度 温度変化
表面粗さ測定機 サブナノ粗さからミリ形状まで3D白色干渉顕微鏡 非接触三次元表面粗さ・形状測定機 Opt-scope-品番-Opt-scope R

Opt-scope R

要見積もり 20mm 0.1nm 0.8±|2H/100|μm 約1.7×1.7mm 2,048×2,048 1.10μm 200mm 5穴レボルバ式 垂直走査低コヒーレンス干渉法
全焦点画像顕微鏡法 (フォーカスバリエーション) ※オプション機能
白色LED カラー CMOSイメージセンサ※オプション機能
モノクロCMOSイメージセンサ
0.01 nm 0.005 nm 0.05 % 0.1 +|H/1,000| µm (H: 測定高さ µm) 2 ~ 100 µm/sec
1 ~ 12 µm/sec
± 1° 20kg ±12.5 mm or ±25 mm※オプション機能 14kg※オプション機能 159 mm (コラムスペーサオプション時:289 mm※オプション機能) 58 mm (コラムスペーサオプション時:188 mm※オプション機能) パッシブ方式 or アクティブ方式※オプション機能 620 mm / 800 mm / 1,532 mm
コラムスペーサオプション時:620 mm / 800 mm / 1,662 mm
175 kg
コラムスペーサオプション時:183 kg
単相 AC100 / 110±10% (50/60 Hz) 1,200 W 供給圧力 0.35 - 0.7 Mpa 18 ~ 30 ℃ ±0.5 ℃ /hour

のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

明伸工機株式会社は、エレクトロニクス、試験機、計測器の製造・販売・修理などを事業内容とする専門商社です。 1963年に設立されました。古物買取なども行っているため、2009年に古物商許可を取得しています。 主な取扱商品...

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