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ウエハ測定が可能、超高感度･超高速、フィードバック時間の劇的改善 半導体ウエハカソードルミネッセンス顕微鏡システム Santis300-Santis300
ウエハ測定が可能、超高感度･超高速、フィードバック時間の劇的改善 半導体ウエハカソードルミネッセンス顕微鏡システム Santis300-株式会社東京インスツルメンツ

ウエハ測定が可能、超高感度･超高速、フィードバック時間の劇的改善 半導体ウエハカソードルミネッセンス顕微鏡システム Santis300
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■概要

SEMとカソードルミネッセンス (CL) 光学系を完全一体化した世界唯一のAttolight社製 超高感度カソードルミネッセンス顕微鏡システムの半導体ウエハ (GaN, SiCなど) 対応モデルです。基本モデルの特長を受け継ぎ、面倒な光学調整は一切不要、歪のない広い観測視野、高速スペクトルマッピングを実現し、ウエハをカットすることなくウエハの分析が可能です。SEM像とCL像の同時取得ができ、小さなウエハから300mmウエハまで対応。半導体デバイスの製造工程において、ウエハレベルでの評価を可能にしフィードバック時間を数日から数分へ劇的に改善します。

■特長

・GaNなどのワイドギャップ材料に最適 ・ウエハの全領域から局所分析まで1台で対応 ・SEMとカソードルミネッセンス (CL) を完全一体化 ・SEM像とCL像を同時取得

■用途・アプリケーション

半導体の故障解析、材料評価、品質管理

  • シリーズ

    ウエハ測定が可能、超高感度･超高速、フィードバック時間の劇的改善 半導体ウエハカソードルミネッセンス顕微鏡システム Santis300

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