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低温・超高感度カソードルミネッセンス顕微鏡システム Allalin-Allalin
低温・超高感度カソードルミネッセンス顕微鏡システム Allalin-株式会社東京インスツルメンツ

低温・超高感度カソードルミネッセンス顕微鏡システム Allalin
株式会社東京インスツルメンツ

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この製品について

■概要

Attolight社の、SEMとカソードルミネッセンス光学系を完全一体化した、世界唯一の低温・超高感度カソードルミネッセンス顕微鏡システムです。 面倒な光学調整が一切不要の独自光学設計で、DUV-NIRまでをカバー、歪のない広い観測視野、高速スペクトルマッピング、低温測定を実現。さらにストリークカメラと組み合わせて、ピコ秒時間分解測定も実現。基礎研究・開発から品質管理など産業用途にまで対応する、これまでのCL-SEMの常識を覆す顕微鏡システムです。

■特長

・電子レンズと高NA (0.71) 光学対物レンズを一体化 ・SEM像と同一視野のCL像を観察 ・面倒な鏡調整は一切不要 ・超高感度・高速マッピング測定 ・歪みのない広い観測視野:~ 300 μm ・SEMとCLを統合的に操作・測定 ・観測波長:180 nm ~ 1.6 um ・高精度6軸ステージ ・低温測定:10 K ~ ・パルス電子源によるピコ秒時間分解測定 ・フォトルミネッセンス (PL) 測定

■用途

・LED材料の評価 ・ワイドギャップ材料の評価 (GaN, SiC, Ga2O3) ・太陽電池やパワーデバイスなどの開発、品質管理、故障解析 ・ナノスケール光デバイスの評価 (プラズモニクス) ・キャリアの蛍光寿命やダイナミクス観察 ・EBIC像/CL像/SEM像の同時複合測定

■光学顕微鏡

・電子光学系への内蔵型光学顕微鏡 ・対物レンズ:アクロマティック反射対物レンズ、波長 180 nm~1.6μm ・開口数:NA 0.71 (f/0.5) ・観測視野:> 300μm (電子及び光学顕微鏡) ・光学顕微鏡分解能:< 5μm ・集光効率:視野全域で30 % (ランバート反射の場合)

■ナノポジショニングステージ

・サンプル径:φ25 x t1.5 mm ・6自由度の任意移動 (クライオスタットオプション対応) ・ストローク:25 mm (X,Y軸) , 3 mm (Z軸) , 3°傾斜 (X,Y軸) , 35°回転 (Z軸) ・最小移動単位:1 nm ・位置再現性:100 nm (フルストローク) 、< 2 nm (100 nm範囲)

  • シリーズ

    低温・超高感度カソードルミネッセンス顕微鏡システム Allalin

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低温・超高感度カソードルミネッセンス顕微鏡システム Allalin 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 測定モード 電子銃 電子光学系 分光器 検出器 チャンバー・真空システム クライオスタット (オプション) システム重量 使用環境温度
低温・超高感度カソードルミネッセンス顕微鏡システム Allalin-品番-Allalin

Allalin

要見積もり

光学顕微鏡イメージング
カソードルミネッセンス (CL) マッピング (多色, 単色, ハイパースペクトラル)
2次電子 (SE) マッピング
時間分解CLマッピング (オプション)
SEとCLの同時イメージング

ショットキー電子銃:連続モード/時間分解モード (オプション)
加速電圧:3~10 kV
プローブ電流:1 pA~20 nA

電磁レンズ, 偏光素子, 収差補正系を内蔵した電子光学鏡筒
連続モードと時間分解モードの両方に最適化
空間分解能:< 10 nm (3~10 kV)
作動距離:3 mm

分散型イメージング分光器
出射ポート数2
焦点距離320nm
回折格子搭載数3 (各回折格子の仕様は注文時に指定)

PMT (ポート1)
CCD (ポート2)
UV-VISストリークカメラ (時間分解オプション, 最小時間分解能10 ps)

電子銃用イオンゲッターポンプ (差動排気)
チャンバー用ターボ分子ポンプ
チャンバーサイズ:208 mm (直径) x 300 mm (高さ)

低振動ヘリウムコールドフィンガー
温度範囲:20~300 K
デジタル温度コントローラ

カソードルミネッセンスシステム:250 kg
光学テーブル:650 kg

20±3℃, 湿度70%以下

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