低温・超高感度カソードルミネッセンス顕微鏡システム Allalin-Allalin

低温・超高感度カソードルミネッセンス顕微鏡システム Allalin
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この製品について

■概要Attolight社の、SEMとカソードルミネッセンス光学系を完全一体化した、世界唯一の低温・超高感度カソードルミネッセンス顕微鏡システムです。

面倒な光学調整が一切不要の独自光学設計で、DUV-NIRまでをカバー、歪のない広い観測視野、高速スペクトルマッピング、低温測定を実現。さらにストリークカメラと組み合わせて、ピコ秒時間分解測定も実現。基礎研究・開発から品質管理など産業用途にまで対応する、これまでのCL-SEMの常識を覆す顕微鏡システムです。

■特長・電子レンズと高NA (0.71) 光学対物レンズを一体化
・SEM像と同一視野のCL像を観察
・面倒な鏡調整は一切不要
・超高感度・高速マッピング測定
・歪みのない広い観測視野：～ 300 μm
・SEMとCLを統合的に操作・測定
・観測波長：180 nm ～ 1.6 um
・高精度6軸ステージ
・低温測定：10 K ～
・パルス電子源によるピコ秒時間分解測定
・フォトルミネッセンス (PL) 測定

■用途・LED材料の評価
・ワイドギャップ材料の評価 (GaN, SiC, Ga2O3) 
・太陽電池やパワーデバイスなどの開発、品質管理、故障解析
・ナノスケール光デバイスの評価 (プラズモニクス) 
・キャリアの蛍光寿命やダイナミクス観察
・EBIC像/CL像/SEM像の同時複合測定

■光学顕微鏡・電子光学系への内蔵型光学顕微鏡
・対物レンズ：アクロマティック反射対物レンズ、波長 180 nm～1.6μm
・開口数：NA 0.71 (f/0.5) 
・観測視野：> 300μm (電子及び光学顕微鏡) 
・光学顕微鏡分解能：< 5μm
・集光効率：視野全域で30 % (ランバート反射の場合) 

■ナノポジショニングステージ・サンプル径：φ25 x t1.5 mm
・6自由度の任意移動 (クライオスタットオプション対応) 
・ストローク：25 mm (X,Y軸) , 3 mm (Z軸) , 3°傾斜 (X,Y軸) , 35°回転 (Z軸) 
・最小移動単位：1 nm
・位置再現性：100 nm (フルストローク) 、< 2 nm (100 nm範囲) 

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
低温・超高感度カソードルミネッセンス顕微鏡システム Allalin

取扱企業
株式会社東京インスツルメンツ

カテゴリ

観察機器

光学顕微鏡

観察機器

電子顕微鏡

観察機器

走査型電子顕微鏡

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低温・超高感度カソードルミネッセンス顕微鏡システム Allalin 品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	測定モード	電子銃	電子光学系	分光器	検出器	チャンバー・真空システム	クライオスタット (オプション)	システム重量	使用環境温度
	Allalin	要見積もり	光学顕微鏡イメージングカソードルミネッセンス (CL) マッピング (多色, 単色, ハイパースペクトラル) 2次電子 (SE) マッピング時間分解CLマッピング (オプション) SEとCLの同時イメージング	ショットキー電子銃：連続モード/時間分解モード (オプション) 加速電圧：3~10 kV プローブ電流：1 pA~20 nA	電磁レンズ, 偏光素子, 収差補正系を内蔵した電子光学鏡筒連続モードと時間分解モードの両方に最適化空間分解能：< 10 nm (3~10 kV) 作動距離：3 mm	分散型イメージング分光器出射ポート数2 焦点距離320nm 回折格子搭載数3 (各回折格子の仕様は注文時に指定)	PMT (ポート1) CCD (ポート2) UV-VISストリークカメラ (時間分解オプション, 最小時間分解能10 ps)	電子銃用イオンゲッターポンプ (差動排気) チャンバー用ターボ分子ポンプチャンバーサイズ：208 mm (直径) x 300 mm (高さ)	低振動ヘリウムコールドフィンガー温度範囲：20~300 K デジタル温度コントローラ	カソードルミネッセンスシステム：250 kg 光学テーブル：650 kg	20±3℃, 湿度70%以下