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光検出器・光電子分光用アナライザ X線/電子線 (CCD, MCPなど) 軟X線/EUV用高速sCMOSカメラ Marana-X-Marana-X-6 ROI サイズ 2,048 x 2,048
光検出器・光電子分光用アナライザ X線/電子線 (CCD, MCPなど) 軟X線/EUV用高速sCMOSカメラ Marana-X-株式会社東京インスツルメンツ

光検出器・光電子分光用アナライザ X線/電子線 (CCD, MCPなど) 軟X線/EUV用高速sCMOSカメラ Marana-X
株式会社東京インスツルメンツ

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この製品について

■軟X線/EUV用高速sCMOSカメラ Marana-X

軟X線、EUVを100fpsで直接撮像可能。リソグラフィ、タイコグラフィ用途など。

■軟X線/EUV用高速sCMOSカメラ Marana-X 製品概要

Marana-Xは、EUVおよび軟X線アプリケーションに適したsCMOSカメラです。背面照射型4.2メガピクセルsCMOSセンサーにより、フルフレームで最大74fpsでの撮像が行えます。さらに画素数を絞れば100fps、1,000fpsといった従来のX線CCDを凌駕する高速撮像も可能です。 また、撮像だけでなく、分光計測モードも搭載しており、分光器に接続をしてスペクトル計測をすることも可能です。

■特長

・背面照射型sCMOSセンサー搭載 ・VUV、EUV、軟X線検出用 ・高画素:4.2メガピクセル (2,048x2,048) ・高感度:最大量子効率99% ・高速:74 fps (フルフレーム) , 108 fps (1,400x1,400画素) ・ハイダイナミックレンジ:最大16bit ・低温冷:-45℃ ・分光計測モード搭載

■主な用途

・in situ X線計測 ・トモグラフィー ・X線分光法 ・ハイパースペクトルイメージング ・EUVリソグラフィー ・EUVタイコグラフィー

  • シリーズ

    光検出器・光電子分光用アナライザ X線/電子線 (CCD, MCPなど) 軟X線/EUV用高速sCMOSカメラ Marana-X

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光検出器・光電子分光用アナライザ X線/電子線 (CCD, MCPなど) 軟X線/EUV用高速sCMOSカメラ Marana-X 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 最大フレームレート (fps) ROI エリア センサータイプ 素子数 素子サイズ 検出面積 シャッターモード ピクセル読み出しレート 最大量子効率 読み出しノイズ 冷却温度 暗電流 ダイナミックレンジ データ出力レンジ ビンニング インターフェース マウンティングフランジ 制御ソフト (32bit , 64bit)
光検出器・光電子分光用アナライザ X線/電子線 (CCD, MCPなど) 軟X線/EUV用高速sCMOSカメラ Marana-X-品番-Marana-X-6 ROI サイズ 2,048 x 2,048

Marana-X-6 ROI サイズ 2,048 x 2,048

要見積もり

40 (USB 3.0 16 bit)

13.3 mm x 13.3 mm

背面照射型
Scientific CMOS (sCMOS)

2,048×2,048

6.5μm×6.5μm

13.3 mm ×13.3 mm

ローリングシャッター

310 MHz (高速ハイダイナミックレンジモード:16bit)
180 MHz (低ノイズモード:12bit)

99%

1.6 e- (高速ハイダイナミックレンジモード:16bit)
1.2 e- (低ノイズモード:12bit)

-25℃ (空冷)
-45℃ (水冷)

0.15 e-/pixel/s (@-25℃)
0.10 e-/pixel/s (@-45℃)

34,000:1 (高速ハイダイナミックレンジモード:16bit)

16bit (高速ハイダイナミックレンジモード)
12bit (低ノイズモード)

2×2, 3×3, 4×4, 8×8

USB 3.0またはCoaXPress

DN100CF 6インチ外径 固定フランジ

Andor Solis
Andor SDK (C, C++, LabVIEW, Matlab互換)

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