ステッピングモーター真空タイプ (真空度10-5～10-4Pa) -αSTEP ARシリーズ真空タイプ

ステッピングモーター真空タイプ (真空度10-5～10-4Pa)
オリエンタルモーター株式会社

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この製品について

■概要・10-5～10-4Paの真空環境下で使用
・AC/DC入力

■真空タイプモーターの特徴と構造・放出ガスを抑えるため、モーターケースにはアルミ、ステンレス鋼を使用し、表面は塗装していません。また、軸受けには真空用グリースを使用しています。
・放出ガスは、通常のクリーンな環境に見られる成分と同じなので、真空環境を汚染する心配はありません。
・ベーキング処理の温度にも耐えられるように耐熱用の巻線を使用しています。

■装置を小型化し、設計の自由度を拡大大気中にモーターを設置する場合、回転導入機などを使用するため装置が大型になります。真空タイプは、真空環境内にモーターを設置できるため装置を小型化できます。さらにαSTEP ARシリーズなら位置確認用のセンサが不要になるためコストダウンにも貢献します。

■αSTEP ARシリーズなら、エンコーダ無しで位置監視が可能αSTEP ARシリーズは、クローズドループ制御によりモーターの情報を監視するほか、各種アラーム出力機能を搭載しています。高額の真空対応型エンコーダは不要になります。ローター位置検出センサ (レゾルバ) を搭載しモーターの情報を検出し、モーターを制御します。

■真空中でさまざまな動きを実現半導体製造装置や、電子顕微鏡をはじめとする計測機器など、さまざまな用途に採用されています。真空タイプのモーターは、回転導入機では設計が困難な、真空環境下での多軸ステージに対応します。真空中で複数軸の組み合わせが可能となり、より複雑な動きを実現させることができます。

■低損失のαSTEP ARシリーズは、真空中の解析、加工用途に最適です低真空中の物資解析、高出力レーザー加工、真空成膜など、真空環境下での位置決め用途で活躍します。