エッジビード露光システム量産用向け Model2000-量産用向け Model2000

エッジビード露光システム量産用向け Model2000
株式会社協同インターナショナル

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この製品について

Model 2000はフラッド露光またはエッジビード露光が可能なフルオートマチックタイプの装置です。シャドウマスク技術が貴重なエッジビード除去工程を必要とする製品製造を容易にします。

■マスクアライナーマスクアライナーとは紫外線を用いて試料に微細なパターンを転写・焼付する装置で、マスクアライメント装置とも呼ばれます。基板素材はシリコン、ガラス、セラミック、ガリウムヒ素、推量など多岐にわたっています。一般的にトランジスタ、ICなどの半導体素子製造に使用される場合がほとんどですが、LCDガラスのパターン形成や水晶発振子の製造などにも用いられます。

OAI社のマスクアライナーは世界中でR&Dおよび量産向けに使用されています。信頼性、耐久性、技術優位性の面で他社製品より優れているとお客様からの評価を頂いています。特にコストパフォーマンスに優れたマスクアライナーとして定評があります。

オプションでコントローラ、チャックを追加するだけで「マイクロ流体チップの製造」「UVナノインプリント」が可能な装置へアップグレードさせることができます。半導体、ディスプレイ、MEMS、マイクロ流体、ナノインプリント、医療/バイオ、太陽電池 (ソーラー) 用途に最適です。

■OAI社製品の特徴・コンパクトなテーブルトップ装置で、R&D用途からセミ/フルオートマティックの量産対応機まで豊富なラインナップ。
・ライトソースのみの販売も行っております。
・永年の製造経験に基づき、充分にテスト・検証されたモジュラー部品を組み上げる事により、経済的かつ信頼性・拡張性に優れたシステムを提供。
・半導体リソグラフィー、マイクロ流体、ナノインプリント、MEMS、UV硬化 (キュア) 、バイオテクノロジー、太陽電池 (ソーラー) 、抵抗特性評価など。

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
エッジビード露光システム量産用向け Model2000

取扱企業
株式会社協同インターナショナル

カテゴリ

半導体製造

半導体露光装置

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露光装置

半導体製造

ステッパ

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エッジビード露光システム量産用向け Model2000 品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	基板対応サイズ	露光時間	付帯設備	サイズ
	量産用向け Model2000	要見積もり	12インチ径まで	1s-999s ( 0.1s間隔)	電源 : 220V 真空ライン、エアーラインもしくは N2ライン、排気ライン	1,727mH x 1,041mmW x 914mmD