真空乾燥装置・真空ベーキング装置小型CVD装置 SFCVシリーズ-SFCV-1001

真空乾燥装置・真空ベーキング装置小型CVD装置 SFCVシリーズ
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この製品について

■概要グラフェンなど炭化水素系化合物での各種材料開発に適した、管状炉式の高温熱CVD装置です。

■特徴大学・研究機関でグラフェンなど炭化水素系化合物での各種材料開発に適した、管状炉式の高温熱CVD装置です。少量・小サイズのテストピースが簡単な操作で作れるように小型化し、同時に大幅なコストダウンを実現しました。 また、従来小型では困難とされてきた5～100Paでの圧力コントロール機能を備え、より多様な処理パターンに対応可能としました。さらに炭化水素系の可燃性ガスに対しては、警報検出による機器停止、大気放出ガス希釈ユニットなどの安全装置を備えています。

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
真空乾燥装置・真空ベーキング装置小型CVD装置 SFCVシリーズ

取扱企業
入江株式会社

カテゴリ

半導体製造

CVD装置

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真空乾燥装置・真空ベーキング装置小型CVD装置 SFCVシリーズ品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	炉芯管材質	炉芯管内径	加熱温度常用	加熱温度 Max	管状炉加熱域	管状炉ヒータ容量	真空排気油回転真空ポンプ	ガス供給マスフローコントローラ	ガス供給ガス管型フローメータ	ガス希釈エアエジェクタ	真空計圧力制御	真空計大気復圧	制御温度制御	制御圧力制御	操作パネル	電源単相	外形寸法 (W×D×H)	質量
	SFCV-1001	要見積もり	透明石英管	φ24mm、φ50mm	100~1,000℃	1,150℃	1ゾーン	1.0kW	排気速度：100~150L/min	流量：10~100sccm	流量：10~100sccm	エア流量：15Nl/min	キャパシタンスマノメータ：0.133~1330Pa,100Pa~133kPa	デジタル連成計：-100kPa~+100kPa	プログラム制御	バルブON/OFF制御	各機器スイッチ、プログラム温調計、真空計表示器：温度、真空度、作動機器ON/OFF、警報、電源	100V・30A	1,450×500×1,200mm	125kg