ナノ粗さ高さ計測器ナノセブン TN-Ａ1
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この製品について

ナノセブンは、レーザー光による非接触方式で計測対象物の表面粗さ、段差高さの形状をサブナノレベルの精度で、短時間かつ広範囲に計測する事が可能です。

■特長1 計測時間短縮100µm×100µmエリアの表面粗さをわずか25秒で計測します。※3µmピッチで計測の場合。

 AFMでは一般的に15分程度必要です。

■特長2 広範囲計測ナノセブンの計測範囲は、サンプルステージの可動領域に依存します。X軸 (横軸) 45mm、Y軸 (奥行軸) 45mmまで可動できるため、この領域内であれば理論的には一度に計測することが可能です。またサンプルステージの大型改造を実施することができ、より広い範囲の計測も可能です。

■特長3 防振台不要ナノセブンの採用している「光ヘテロダイン干渉計測式は、一般的な白色干渉計測と異なり、干渉縞による計測を使用していないため、外乱からのノイズに強く、防振台を必要としません。

■特長4 簡単計測原則として、計測対象物への特別な前処理は必要ありません。また真空設備も使用していません。専用のオペレーターがいなくても操作可能な簡単操作設計となっています。

■特長5 高分解能ナノセブンは光ヘテロダイン干渉計測方式を採用しており、光の波長の位相差を基準とした計測方法であるため、高さ分解能は0.1nm (ナノメートル) 以下の計測が可能です。

■特長6 非接触式計測ナノセブンは赤色レーザーによる非接触型の計測器ですので、計測対象物に悪影響を与えません。また非接触であるため接触型の計測器と比較して高速計測が可能です。レーザー出力もわずか数ミリワットの低出力なので省エネルギーかつ安全な設計です。

■特長7 低ランニングコスト設置時に防振台や真空設備などの付帯設備の必要がなく、また消耗品もほとんどないため購入後のランニングコストを抑えることができます。また専用オペレーターも必要ないため人件費削減にも貢献いたします。

■ナノセブン＜TN-A1＞の主な仕様・計測は本体・コントロールBOX・計測用PCで構成されています。
・卓上設置が可能でコンパクトなサイズになっています。
・X45mm×Y45mmのワイドレンジで計測が可能です。

■他のナノ計測器との比較ナノセブンは、他の計測装置と比較して広範囲かつナノレベルの高さの計測が可能です。

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
ナノ粗さ高さ計測器ナノセブン TN-Ａ1

取扱企業
ツクモ工学株式会社

カテゴリ

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干渉計

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ナノ粗さ高さ計測器ナノセブン TN-Ａ1 品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	高さ方向分解能	基準高さ測定範囲	計測方式	最大移動量	光源	対物レンズ	電源	本体重量	外形寸法	付属品
	TN-Ａ1	要見積もり	0.1nm (ナノメートル)	0.5nm~300nm	非接触方式	X:45mm/Y:45mm	He－Neレーザー (632.8nm)	倍率 20X / NA0.4	AC100V	約27kg	本体： W220×D550×H420mm コントロールボックス：W172×D350×H315mm	ノイズフィルター